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流量控制器特點
1、 穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化
2、 寬量程比,可達100:1
3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級
4、 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
5、 內(nèi)置70余種氣體,觸屏式直接操作切換,無需重新校準
6、 標配三種顯示方式:數(shù)字、模擬和本地面板
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什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowCooller(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Cooller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,數(shù)字氣體流量計分類,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應裝置,河北數(shù)字氣體流量計,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥,數(shù)字氣體流量計哪家好, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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