管道氮氣置換-長輸管道氮氣置換-念龍化工(誠信商家)

危險氣體的特別事項
作為半導(dǎo)體晶圓代工廠氣體的使用者，每一位工作人員都應(yīng)該在使用前對各種危險氣體的安全數(shù)據(jù)加以了解，管道氮氣置換，并且應(yīng)該知道如何應(yīng)對這些氣體外泄時的緊急處理程序。一般來講，我們將有三重保障來防范萬一有意外發(fā)生的危險氣體外泄進(jìn)入到工作環(huán)境中。一個是特種氣體的氣瓶以及全部經(jīng)過正負(fù)壓測漏的氣體輸送管路；第二個是持續(xù)不斷的排氣抽風(fēng)系統(tǒng)（Exhaust），管路節(jié)點如氣瓶柜、VMB、工作臺等均具有很強排氣抽風(fēng)系統(tǒng)，以確保每一管路節(jié)點外圍都處于負(fù)壓環(huán)境。若發(fā)生微量的有毒氣體的泄漏，排氣抽風(fēng)系統(tǒng)將******時間抽出；另外一個很重要的是處于抽風(fēng)口或環(huán)境點的毒性氣體偵測器系統(tǒng)，若發(fā)生任何有毒氣體的泄漏將會被氣體偵測系統(tǒng)所偵測到，這個控制系統(tǒng)將根據(jù)氣體外泄對人體危害的大小來確定整個氣體輸送系統(tǒng)的相關(guān)互鎖動作，嚴(yán)重時緊急關(guān)閉上游所有氣源，同時會驅(qū)動中央控制室和現(xiàn)場的相關(guān)報警系統(tǒng)LAU，管道 氮氣置換，甚至?xí)?qū)動全廠的自動語音廣播系統(tǒng)通知立即疏散，要求相關(guān)人員迅速撤離報警區(qū)域。因此只要工程技術(shù)人員嚴(yán)格按照所制定的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序操作，所有這些安全裝置都將確保人員不會有安全上的顧慮。
?實驗室氣路材料要求

1、高壓波紋軟管 ：外表不銹鋼金屬網(wǎng)內(nèi)襯PTFE材質(zhì)，長度1米以上，通徑大于6MM。一端符合標(biāo)準(zhǔn)鋼瓶的連接型號，另一端連接自動切換系統(tǒng)。承受大于3000PSI。其特性為：潔凈光亮、柔軟、防腐。

2、低壓報警器 ：低壓報警器多觸點可模擬數(shù)據(jù)輸出型，報警器可蜂鳴閃光同時顯示報警氣體的名稱。防爆接線、信號模擬和自動切換系統(tǒng)匯流排相匹配。

3、減壓閥 ：316L不銹鋼材質(zhì)。一級減壓閥進(jìn)氣壓力0-200bar，出氣壓力0-16bar;二級減壓閥進(jìn)氣壓力0-16bar，出氣壓力0-6bar。進(jìn)出口接口1/4” FNPT螺紋，壓力表接口1/4” MNPT螺紋。

4、管道 ：管道采用內(nèi)表面BA及316L ASTM A269標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼管道，316L不銹鋼光亮退火，母材符合BA及高純管道，管道的內(nèi)表面處理值要小于0.37U。管道的標(biāo)準(zhǔn)：1/4”---1/2”壁厚0.88mm。大承受壓力為300 bar，氣管適用純度等級為5.0的氣體。

5、接頭 ：采用316L不銹鋼光亮退火，母材符合Bji的高純氣路配件。雙卡套設(shè)計。硬化處理之后卡套，具備對管子的耐震力及高抓力，使管子在任何情形下不易松脫而造成危險。后卡套內(nèi)部有凹槽，安裝時可以降低扭力，安裝者可以輕易將接頭鎖至標(biāo)準(zhǔn)圈數(shù)。螺帽內(nèi)部螺紋做鍍銀處理，具備安裝時必要的潤滑，延長螺紋壽命。

重視配管 防塵 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 對 防塵的措施可 能想出多種 ， 必須從實際 工作做起 省先在切 斷 ， 洗凈 ， 焊接后等作業(yè) 結(jié)束時利用塑料薄膜或盲蓋 封好 ， 而直至使 用時再次打開 不要放在灰塵發(fā)生的地方或 室外 切斷后切屑婆立 即去除 閥門的開閉 要迅速 ， 一般應(yīng) 以 關(guān) 閉狀態(tài) 每 天 工 作結(jié)束 應(yīng)將現(xiàn)場打掃干凈 ， 盡盤防止塵埃侵人 獲 配管的試驗 、 檢查和分析 配管連接完 工 以 后 ， 終工序之 一 的耐 壓試驗和氣密性試驗 以及檢查 和分析 ， 其一 ，般程序如圖 所示 飛 氣密性和耐壓試驗基本應(yīng)為同時并用 試 驗 ， 試驗條件以氣密性試驗的 小時放置及 耐壓試驗的設(shè)計壓力 倍進(jìn)行 同時進(jìn)行 用檢漏液 肥皂泡 試驗的發(fā)泡確認(rèn) 另外 ， 通過溫度補償?shù)膲?降殘余壓力 率 的標(biāo) 準(zhǔn) 即 以上 為合格 關(guān)于配管潔凈度 塵埃 測定應(yīng)為利用 實 際氣體 滁外 的測定 ， 基本上 實施設(shè)備連 接取出用初級側(cè)閥門總數(shù)的 測定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在閥與測試儀器 連接 中間應(yīng)連接擴散管以避免塵埃計數(shù)器損壞。 至于和含氧量及其它雜質(zhì)的分析 ， 在有 純化裝 的場合應(yīng) 以 純化器 出 口 指標(biāo) 為基準(zhǔn) 在沒有現(xiàn) 場分析儀的 ， 可通 過取樣 瓶取樣送驗 。 但取樣瓶必須沽凈并在充灌時 予叔 充分里換 遴免任何形 式的沽污 ， 以 確 保其實際值 全部試驗合格后 ， ’ 還應(yīng)對配管介質(zhì)標(biāo)注 名稱和流 向 一般不銹鋼配管不涂 漆 ， 但非 不銹鋼支承物應(yīng)涂漆防銹后交付使用驗收 三 、 高純氣體輸送系統(tǒng)的管理 高純氣翰送系統(tǒng)的建立不僅耗費較大 的 投資和精力 ， 更重要 的它對生產(chǎn)工藝和 產(chǎn) 品 合格率的影響是 巨大的， 要使高純化系統(tǒng)持 久地 發(fā) 揮 效 益 ，長輸管道氮氣置換， 必 須重視 和 加 強 對 它 的 管 理 。 有條件的 ， 建立系統(tǒng)的氣體分析盤或 監(jiān)控盤 ， 用以監(jiān)視系統(tǒng) 的流食 ， 壓力 ，管道置換氮氣， 礴點及 含氧盈 及 凡 以 及裝 置的工作 情況和 異 常報警 ， 以便有問題時及時發(fā)現(xiàn) ， 及時調(diào)整 建立和健全值班記錄制度 ， 對 系 統(tǒng)和 裝 置運行工況進(jìn)行記錄 。 定期對系統(tǒng)終端 使用端 進(jìn)行
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