高純氣體輸送系統(tǒng)對(duì)設(shè)計(jì)方案的要求整 個(gè)輸送系統(tǒng)必 須有高度的 氣密性 和嚴(yán)格的沽凈度 。 供氣方式的選擇 、 一個(gè)集 中 目前國(guó) 內(nèi)還沒有 區(qū)域性 的 管道供氣方式, 除 自備 “ 空 分 ” 裝 置 外 , 大多 為商品 氣、 諸如北 京 、 上 海 、 江 蘇、 浙 江 的 一 些集成 電路廠越來越多地改用 液態(tài) 源集 中氣 化供應(yīng) , 據(jù)說在 公里范圍 內(nèi)有液態(tài)源 , 還 是有使用的可取之 處 , 然 而不論是 用 液態(tài) 還 是氣態(tài) , 將貯存容器集 中輸送為 好 , 更有利于 安全管理、 兩種選擇 圖 是上 無 十 四 廠 氣站 直 接 向 各 車 間 供應(yīng) 電子純液氧 , 液氮的系統(tǒng)流 程 圖 。 第二種選擇 , 我們可 以參照 圖 , 它是貝 嶺公司氣站集 中供應(yīng) 個(gè) 液氮液氧再經(jīng)純 化裝置后 向工藝車間供應(yīng)高純氮 , 高純 氧的 系統(tǒng)流程圖 。 、 三個(gè)方式丫夕、, 戶 氣站高純氣 使用點(diǎn) 關(guān)于管徑和管路形式 氣體輸送系統(tǒng)的詳細(xì)設(shè)計(jì)固然要以有關(guān) 技術(shù)規(guī) 程 和 安全 法 規(guī)為基 礎(chǔ) , 進(jìn)行 流量 估 算 , 采用經(jīng)濟(jì)合理的流速 , 考慮到使用壓力和 管阻及輸送距離 ,燃?xì)夤艿赖獨(dú)庵脫Q氧含量, 確定合理的管徑和管路形 式。 在上無 四 廠 ,管道置換氮?dú)猓?我們對(duì)多個(gè)生產(chǎn)車伺 , 采 用在氣站設(shè) 分氣 缸 圖 作 輻射 狀安裝 , 各車間管徑相 同,管道氮?dú)庵脫Q, 獨(dú)立一路, 力避相互竄氣干 擾 , 保持工作 壓 力 穩(wěn)定 當(dāng) 時(shí)設(shè)計(jì) 壓 力 僅為 一 勺, 使用管理和維護(hù)方便 , 而在貝嶺‘ 公司全部管路成樹枝狀 延伸 , 干 管統(tǒng)一為 一 個(gè) 口 徑 支管 又 統(tǒng) 一 為 一 個(gè) 口 徑 。
{管道氮?dú)庵脫Q}流程1、應(yīng)按設(shè)計(jì)文件要求,在管道安裝完成、熱處理、無損檢測(cè)、水壓試驗(yàn)、管道干燥合格后方能進(jìn)行管道置換工作
2、氮?dú)庵脫Q前,應(yīng)由建設(shè)/監(jiān)理單位、施工單位和有關(guān)部門對(duì)下列資料進(jìn)行審查;
(1) 管道組成件、焊材的制造廠質(zhì)量證明書;
(2) 管道組成件、焊材的校驗(yàn)性檢查或?qū)嶒?yàn)記錄;
(3) SHA級(jí)管道彎管加工記錄、管端的螺紋和密封加工記錄;
(4) 管道系統(tǒng)隱蔽工程記錄;
(5) 符合要求的單線圖、PI&D工藝流程圖;
(6) 無損檢測(cè)報(bào)告;
(7) 壓力試驗(yàn)報(bào)告
(8) 合格認(rèn)證單
(9) 設(shè)計(jì)變更及材料代用文件。
根據(jù)上游供氣能力、管徑及流速 , 測(cè)算 出每小時(shí)的供氣量。投產(chǎn)時(shí)控制流量 , 保證 管道中流速不大于 5 m/ s。 根據(jù)測(cè)算的混氣頭到達(dá)各閥室和場(chǎng)站的時(shí)間 , 提前在下游的閥室和場(chǎng)站進(jìn)測(cè) , 先用便攜 式含氧量分析儀在主管道上檢測(cè)氮?dú)夂?, 當(dāng)檢測(cè) 到純氮?dú)鈺r(shí) ,長(zhǎng)輸管道氮?dú)庵脫Q, 立即對(duì)放空和排污管線進(jìn)行氮?dú)庵?換。然后再接著采用量程為 0~100 %的便攜式可 燃?xì)怏w檢測(cè)儀對(duì)氮?dú)馀c混氣段進(jìn)行檢測(cè) , 當(dāng) 氮?dú)馀c混氣段通過檢測(cè)地點(diǎn)時(shí) , 混氣段的天 ran氣含量將從 0 逐漸上升
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