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新型節(jié)能真空泵-節(jié)能真空泵-三木森自動化設(shè)備

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節(jié)能真空泵廠家

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半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。




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真空泵用于機組啟動時抽真空,正常運行時用于抽出凝汽器中未凝結(jié)的氣體。真空泵電機所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負荷分配不均,電機實際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運行電流大。




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干式螺桿真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正,由軸承支撐安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,泵工作時,相互之間無磨擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此干式螺桿式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點。




真空泵除主要特性,極限壓力,流量和抽氣速率之外,尚有一些名詞術(shù)語表達泵的有關(guān)性能和參數(shù)。

1、啟動壓力。泵無損壞啟動并有抽氣作用時的壓力。

2、前級壓力。排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。

3、前級壓力。超過它能使泵損壞的前級壓力。

4、工作壓力。對應(yīng)流量的入口壓力。在此壓力下,泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。

5、壓縮比。泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

6、何氏系數(shù)。泵抽氣通道面積上的實際抽氣速率與該處按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。

7、抽氣系數(shù)。泵的實際抽氣速率與泵入口面積按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。

8、返流率。泵在規(guī)定條件下工作時,與抽氣方向相反而通過泵入口的單位面積、單位時間的泵液的質(zhì)量流率。

9、水蒸氣允許量(單位:kg/h) 在正常環(huán)境條件下,氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣的質(zhì)量流率。

10、允許水蒸氣入口壓力。在正常環(huán)境條件下,氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的入口壓力。










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