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微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較采用半導(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比,微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動(dòng)態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點(diǎn)。純單晶硅的材料疲勞小,采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩(wěn)定性好。同時(shí),天津壓力傳感器報(bào)價(jià),微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成,增加溫度補(bǔ)償精度,大幅提高傳感器的溫度特性和測(cè)量精度。如果將2個(gè)微壓力傳感器集成,又可以實(shí)現(xiàn)靜壓補(bǔ)償,天津壓力傳感器,從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見,微壓力傳感器具有許多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的優(yōu)點(diǎn),能夠很好地滿足石化行業(yè)對(duì)壓力傳感器的需求。壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴(kuò)散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時(shí),電導(dǎo)率是同性的,只有受定向應(yīng)力時(shí)才表現(xiàn)出各向異性,由于應(yīng)力能引起能帶的變化,能谷能量移動(dòng),導(dǎo)致電阻率的變化,于是就有電阻的變化,從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計(jì)制造壓力傳感器時(shí)可根據(jù)不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件,力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途,可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。

壓力傳感器常見的溫度范圍壓力傳感器的溫度范圍分為補(bǔ)償溫度范圍和工作溫度范圍。補(bǔ)償溫度范圍是由于施加了溫度補(bǔ)償,精度進(jìn)入額定范圍內(nèi)的溫度范圍。工作溫度范圍是保證壓力傳感器能正常工作的溫度范圍。技術(shù)參數(shù)(量程15MPa-200MPa)參數(shù)單位技術(shù)指標(biāo)參數(shù)單位技術(shù)指標(biāo)靈敏度mV/V1.0±0.05靈敏度溫度系數(shù)≤%F·S/10℃±0.03非線性≤%F·S±0.02~±0.03工作溫度范圍℃-20℃~+80℃滯后≤%F·S±0.02~±0.03輸入電阻Ω400±10Ω重復(fù)性≤%F·S±0.02~±0.03輸出電阻Ω350±5Ω蠕變≤%F·S/30min±0.02過載≤%F·S150%F·S零點(diǎn)輸出≤%F·S±2絕緣電阻MΩ≥5000MΩ(50VDC)零點(diǎn)溫度系數(shù)≤%F·S/10℃±0.03推薦激勵(lì)電壓V10V-15V

壓力傳感器電橋激勵(lì)電壓對(duì)靈敏度的影響一般精度測(cè)量時(shí)用恒流源激勵(lì)。恒壓源激勵(lì)時(shí),測(cè)量的精度取決于恒壓源穩(wěn)壓器件的精度。另外,又可將壓力傳感器的激勵(lì)電源分為正比激勵(lì)和固定激勵(lì)。者內(nèi)部有一個(gè)參照電壓,壓力傳感器電橋由參照電壓供電激勵(lì).參考電壓是恒定的,與電源電壓無關(guān).要電源電壓在一電壓范圍只內(nèi)變化,照電壓不變.而傳感器的輸出不變,參因不受電源電壓的影響。壓力傳感器可以用電池供電,但更普遍的是采用直流穩(wěn)壓電源技術(shù).電池供電時(shí)噪聲小,但隨電池使用,電電壓逐漸降低,供特別是當(dāng)傳感器用正比激勵(lì)時(shí),天津壓力傳感器供應(yīng)商,靈敏度便逐漸減小.這就會(huì)造成讀數(shù)不準(zhǔn)。因此要采用補(bǔ)償辦法(例如壓力傳感器和AD變換器/共用一個(gè)電池供電)或者使用低功耗、電流的壓,小力傳感器,天津壓力傳感器售后,壽命電池,者測(cè)量壓力時(shí)接上電源,長或測(cè)量完畢后,電池關(guān)閉節(jié)省電能.上新電池后,將換壓力傳感器需要重新校準(zhǔn)標(biāo)定.這是因?yàn)椴煌铺?hào)的電池其電動(dòng)勢(shì)、內(nèi)阻都存在一定的差異。壓力傳感器的電橋激勵(lì)電壓的變化會(huì)造成靈敏度的改變。


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