Setra西特227表壓復(fù)合壓絕壓超高純壓力傳感器

Setra西特227表壓復(fù)合壓絕壓超高純壓力傳感器 Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式 “Block” 氣 體棒和面板設(shè)計，能夠滿足如今 300 mm 工具的要求。該 型號占用空間僅 11/8″，能節(jié)省寶貴的空間 ；結(jié)構(gòu)堅固，是 要求長期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測 量應(yīng)用于 ·11/8″“Block”氣體棒和面板 ·高純度氣體輸送系統(tǒng) ·半導(dǎo)體過程工具 的理想選擇。 與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同， Setra 227 型壓 力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計。所有接 液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋 光至 5 Ra（大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實 現(xiàn)無污染氣體輸送。 227 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三種輸 出類型，精度達(dá) ±0.25% FS 或 1.0% 讀數(shù)。該型號可選符 合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 11/8″帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力接 口，另外還可使用多芯電纜、 4 針卡口接頭和 9 針或 15 針 D-sub 接頭進(jìn)行電氣連接。與 328 型 11/8″旋轉(zhuǎn)顯示屏配合 使用時， 227 型可實現(xiàn)理想的壓力測量和顯示。 零點和量程調(diào)整裝置位于旋轉(zhuǎn)保護罩下方的側(cè)面。用戶還 可選擇絕壓、表壓或復(fù)合壓測量范圍。 高性價比 227 型壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技術(shù)，配有 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地 構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使 電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷 平衡原理，通過 Setra 獨特的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高 精度的線性直流電信號。 Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳 感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn) 定的電壓或電流輸出信號。