[Setra西特 225 超高純壓力變送器]
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Setra西特225超高純壓力變送器·高純 Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設計用于半 導體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工 作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應用于高純度氣體輸送系統(tǒng)·半導體過程工具,氣柜 GCT-225 系列采用可旋轉的外罩結構,用戶可方便地調節(jié) 用于零點和量程微調的 12 圈電位計。標準的旋轉外螺紋 / 內螺紋端面密封壓力接口可滿足半導體行業(yè)的要求。此外, 該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。 GCT-225 系列產(chǎn)品 提供 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型,可使用 六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub 或 M12x1 接頭進行電氣 連接。 特性 ■ 泄露率低 ■ VCR 接頭 ■ 易于吹掃的小腔室 ■ 200PSI/250PSI/3000PS ·316 L VIM/VAR 不銹鋼 ·表面拋光度 7 Ra ·VCR 接頭 ·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗 ·堅固耐用,無故障安裝 ·4-20mA 輸出型獲得不易燃認證,適用于潛在危險區(qū)域 ·符合 CE 和 RoHS 標準要求 GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技 術,配有 VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣 電極板與傳感器本地構成可變電容。當氣體壓力提升時, 隔膜會變得略圓,使電容減小。傳感器將檢測到電容變化, 并將其轉換為高精度的線性直流電信號。 Setra 獨特的定 制集成電路采用磚利的電荷平衡原理制成,幾乎不受 EMI/ RFI 干擾。 在制造和裝配完成后, Setra 超高純壓力變送器還要接受 去離子水沖洗、高純熱氮氣吹掃、烘干、雙層包裝、氮氣 充注和密封等處理,后才發(fā)貨。 注 : Setra 的質量標準是根據(jù) ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品 的標定具有 NIST 可追蹤性,美國磚利號。