多功能化學(xué)氣相沉積-拉奇納米鍍膜設(shè)備

? 微電子、半導(dǎo)體：使用高純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

?傳感器和換能器：自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，涂層無(wú)，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。?

?Parylene適用于微機(jī)電(MEMS)、半導(dǎo)體領(lǐng)域之優(yōu)點(diǎn)

*能進(jìn)行微米級(jí)微細(xì)制作和加工；

*與其它微細(xì)結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性；

* 在微細(xì)結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機(jī)械性能；

*對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護(hù)性

Parylene是這些組裝方式的防護(hù)材料，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機(jī)電系統(tǒng)中，Parylene是一的電介質(zhì)材料。同時(shí)，對(duì)傳感器的防酸、堿和及對(duì)水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有的阻隔防護(hù)能力。 ?

Parylene活性分子的良好穿透能力在元件內(nèi)部，底部、周?chē)纬蔁o(wú)氣隙的防護(hù)層。優(yōu)良的防潮、防化學(xué)品和耐性能優(yōu)良的介電絕緣性能、微米級(jí)的精密制作、極薄的膜層仍具極優(yōu)的電性能、物理機(jī)械性能和防腐蝕功能。

物相沉積技術(shù)具有膜/基結(jié)合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應(yīng)用的靶材廣泛、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí)，多功能化學(xué)氣相沉積工藝，物相沉積技術(shù)由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下，多功能化學(xué)氣相沉積，因此可作為終的處理工藝用于高速鋼和硬質(zhì)合金類的薄膜上。由于采用物相沉積工藝可大幅度提高的切削性能，多功能化學(xué)氣相沉積技術(shù)哪家好，人們?cè)诟?jìng)相開(kāi)發(fā)、高可靠性設(shè)備的同時(shí)，也對(duì)其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展，尤其是在高速鋼、硬質(zhì)合金和陶瓷類中的應(yīng)用進(jìn)行了更加深入的研究。