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為什么產(chǎn)生“混合固態(tài)”的概念呢?
因為MEMS掃描鏡是一種硅基半導體元器件,屬于固態(tài)電子元件;但是MEMS掃描鏡并不“安分”,內(nèi)部集成了“可動”的微型鏡面;由此可見MEMS掃描鏡兼具“固態(tài)”和“運動”兩種屬性,故稱為“混合固態(tài)”。可以說,MEMS掃描鏡是傳統(tǒng)機械式LiDAR的革新者,帶領(lǐng)LiDAR小型化和低成本化。其取消了機械式激光雷達的機械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),利用MEMS微振鏡,車流量監(jiān)控半固態(tài)激光雷達廠家,將所有的機械部件集成到單個芯片,利用半導體工藝生產(chǎn)。基于MEMS的固態(tài)雷達,是通過微振鏡的方式改變單個發(fā)射qi的發(fā)射角度進行掃描,由此形成一種面陣的掃描視野。目前基于MEMS方式的激光雷達,車流量監(jiān)控半固態(tài)激光雷達價格,技術(shù)上更容易實現(xiàn),且價格也比較低廉,有很多的廠家在研發(fā),也因此被主機廠商一致看好。

說到激光雷達,近幾年,很多的硬核設(shè)備都引入了激光雷達,像、無人車、機器人、3D打印設(shè)備等,而激光雷達系統(tǒng)的發(fā)展和普及離不開音圈馬達的助推。激光雷達是通過發(fā)射激光束,再接收從遠處物體反射回來的光束,通過測量光束的飛行時間而獲得遠處物體的距離信息。不過,激光束非常窄,并且它們不會發(fā)生散射,因此單束激光雷達脈沖只能感知一個非常小的物體。

混合固態(tài)激光雷達
一種是OPA光學相控陣方案,通過調(diào)節(jié)發(fā)射陣列中的每個發(fā)射單元的相對差來改變激光的射出角度,采用相控陣原理來完全取消機械結(jié)構(gòu)。
第二種是Flash激光雷達,采用類似相機的工作模式,感光元件中的每個像素點都可以記錄光子飛出的時間信息,運行時直接發(fā)射出一大片覆蓋探測區(qū)域的激光,隨后由高靈敏度的接收qi陣列計算每個像素對應的距離信息,從而完成對周圍環(huán)境的繪制。
第三種是MEMS微振鏡激光雷達,通過電流控制微鏡旋轉(zhuǎn)和側(cè)轉(zhuǎn)來完成激光掃描。但遺憾的是固態(tài)激光雷達的技術(shù)路徑雖然很好,但是目前仍然沒有SOP量產(chǎn)供貨的案例。技術(shù)比較成熟的是被看做是下一代激光雷達的MEMS微振鏡方案,但是由于其部件也就是微振鏡,車流量監(jiān)控半固態(tài)激光雷達,它本身是由非常細小的懸臂梁來固定和控制的,車流量監(jiān)控半固態(tài)激光雷達多少錢,所以說非常脆弱,在可靠性和成本上就被打上了問號。而且也因為這個原因,MEMS方案也被部分廠商看作是一種混合固態(tài)方案。


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