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Bruker探針式表面輪廓儀/臺階儀DektakXT表面輪廓/薄膜厚度/應(yīng)力/粗糙度等測量系統(tǒng) Bruker探針式表面輪廓儀/臺階儀DektakXT表面輪廓/薄膜厚度/應(yīng)力/粗糙度等測量系統(tǒng) Bruker探針式表面輪廓儀/臺階儀DektakXT表面輪廓/薄膜厚度/應(yīng)力/粗糙度等測量系統(tǒng)

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北京市表面輪廓儀廠家

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Bruker探針式表面輪廓儀/臺階儀DektakXT表面輪廓/薄膜厚度/應(yīng)力/粗糙度等測量系統(tǒng)


布魯克 (Bruker) 是表面測量和檢測技術(shù)的,服務(wù)于科研和生產(chǎn)領(lǐng)域。布魯克DektakXT (探針式表面輪廓儀)設(shè)計創(chuàng)新,實現(xiàn)了更高的重復(fù)性和分辨率,垂直高度重復(fù)性<5。這一產(chǎn)品源自于Dektak系列占據(jù)長達四十年的表面測量技術(shù),實現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量。


應(yīng)用:
納米尺度的表面輪廓測量、薄膜厚度測量、表面形貌測量、應(yīng)力測量和平整度等精密測量,應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、光學(xué)、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域
原理:
當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。
根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。


特征:
臺階高度重復(fù)性優(yōu)于5埃(<5 )
單拱龍門式設(shè)計實現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性
“智能化電子器件”實現(xiàn)了低噪聲的


操作簡便,易用
直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程
獨特的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和較大的力測量
自對準(zhǔn)的探針設(shè)計使用戶可以輕而易舉地更換探針

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