維意真空SMS-450磁控濺射鍍膜機(jī)與手套箱一體機(jī)支持定制

真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，前開(kāi)門結(jié)構(gòu)；


真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵（進(jìn)口和國(guó)產(chǎn)可選）；


極限真空：優(yōu)于5?10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；


真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；


升降基片臺(tái)：2～6英寸基片臺(tái)，靶基距60～120mm連續(xù)在線自動(dòng)可調(diào)，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至500℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；


磁控靶：直徑3英寸2～4只（可升級(jí)成直徑4英寸靶2～3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；


濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動(dòng)匹配的射頻濺射電源可任選；


質(zhì)量流量計(jì)：2～3路工藝氣體，可根據(jù)工藝要求增加；


膜厚監(jiān)控儀：可選配國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口單水冷探頭膜厚儀；


控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空。

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