維意真空W-TZ2高低溫真空探針臺(tái)支持定制

 高低溫真空探針臺(tái)

一、設(shè)備概述：

高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。

極低溫測(cè)試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試：

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測(cè)量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。

二、技術(shù)參數(shù)：

1、探針平臺(tái)：

探針座采用真空室外置結(jié)構(gòu)，通過(guò)探針臂與探針實(shí)現(xiàn)同步、線性位移；探針座采用鋁制整體式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊、承載大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，三維調(diào)節(jié)范圍為X、Y、Z±20mm，驅(qū)動(dòng)方式為手動(dòng)測(cè)微頭，驅(qū)動(dòng)位置為V型導(dǎo)軌+交叉滾珠中心驅(qū)動(dòng)，產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定，采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪，最小刻度0.01mm，精度0.001mm，直線度單軸0.002mm，重復(fù)定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式為沉孔螺釘固定。自重1.7Kg，負(fù)載5Kg。

探針夾具采用同軸探針夾具，接BNC公接頭。阻抗，50歐姆；接頭，Coaxial BNC公口；最小漏電流，10pA；線徑，30AWG；電壓，700V?？紤]到在做晶圓測(cè)試時(shí)是在高溫下測(cè)量，所以探針夾具連接處需采用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量，有利于高真空獲得和數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性！探針臂采用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼光軸，可以有效保證探針的水平準(zhǔn)直度和變溫環(huán)境下的剛性，減少形變?cè)斐傻牟涣加绊憽?/span>探針臂移動(dòng)真空密封裝置，采用壓縮比達(dá)到1:6.5的焊接波紋管，壓縮壽命優(yōu)于10萬(wàn)次。保證探針臂行程的同時(shí)減少對(duì)探針座造成的負(fù)擔(dān)。

2、光學(xué)平臺(tái)

隔振支撐采用超薄復(fù)合材料、自定心準(zhǔn)無(wú)摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德國(guó)FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。

應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。 如光電測(cè)量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼

平臺(tái)表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重復(fù)定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

3、顯微鏡

1、鑒別力高，視場(chǎng)范圍大，景深長(zhǎng)。
2、工作距離長(zhǎng)至115mm。
3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以  鎖定手輪，方便定倍觀察。

5、本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。

6、雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm。

7、三目體式顯微鏡，可安裝CCD成像系統(tǒng)。

8、倍率可達(dá)200X。

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：

產(chǎn)品造型比較新穎

機(jī)械特性優(yōu)越，操作舒適度高。

光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上，符合

超長(zhǎng)的工作距離位于國(guó)內(nèi)同行之首

獨(dú)有的3A設(shè)計(jì)

創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮。

配CCD采用USB連接電腦，分辨率≦2微米，像素≧500萬(wàn)

3A特性：

密封性-------防塵,防油\防水污染，此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防塵\防油\防水或其它污染，這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.

防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境，此獨(dú)有的設(shè)計(jì)保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無(wú)恙

防靜電------防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本

4、高低溫控制系統(tǒng)

控溫系統(tǒng)采用日本島電溫控儀表配置固態(tài)繼電器、熱電偶形成閉環(huán)PID控溫和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，控溫精準(zhǔn)可達(dá)到±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；加熱器220V供電，高溫600℃，液氮制冷，低溫可達(dá)到-130℃。

5、充氣系統(tǒng)

充氣系統(tǒng)采用采用質(zhì)量流量計(jì)及控制顯示器3路，采用日本原裝品牌，精度1%FS，響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于1sec；

測(cè)量氣體：待定，量程：待定，數(shù)量：3路 ，連接尺寸：F6雙卡套。

真空截止閥3個(gè)，連接尺寸：F6雙卡套。

F52mm*L200mm混氣罐1個(gè)，接頭4個(gè)，連接尺寸：F6雙卡套。

連接管路采用F6無(wú)縫BA級(jí)316材質(zhì)不銹鋼管。

6、真空系統(tǒng)

真空獲得設(shè)備：抽真空機(jī)械泵采用中韓合資型號(hào)TRP-36，9L/s抽速，自帶防返油閥門，KF25接口，KF25排氣口，配有油霧過(guò)濾器。極限                                 真空度優(yōu)于10Pa。

真空連接管道：配置KF40手動(dòng)真空擋板閥，波紋管密封，性能 可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置KF16手放氣閥，體積小巧，性能可                                   靠；所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，機(jī)械泵震動(dòng)所帶給探針臺(tái)的影響。

真空測(cè)量：真空量采用全金屬KF16電阻規(guī)，配合真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示從大氣壓到0.1Pa的真空度，外形美觀，日后維護(hù)成本低。

7、備品配件

贈(zèng)送全套密封件1套，探針10只，探針臂陶瓷連接件2個(gè)。

三、各部位參數(shù)說(shuō)明：