RMS-1000P高溫四探針測量

Partulab RMS-1000P高溫四探針測量系統(tǒng)主要用于評估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電性能，該系統(tǒng)采用直排四探針測量原理和單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計研發(fā)，可以實現(xiàn)高溫、真空及惰性氣氛條件下測量硅、鍺 單晶（棒料、晶片）電阻率和硅外延層、擴散層和離子注 入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻和電阻率。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于高?？蒲性核推髽I(yè)單位半導(dǎo)體薄膜和薄片材料電學(xué)性能研究。

技術(shù)規(guī)范：

功能特點：

★ 高溫爐膛、測量夾具、顯示及軟件集成于一體，測量精度更高，儀器更加穩(wěn)定且易維護(hù)；

★RMS系列機型采用RAM嵌入式開發(fā)平臺，可以進(jìn)行在線升級、遠(yuǎn)程協(xié)助及故障診斷；

★多功能真空電學(xué)加熱爐可實現(xiàn)高溫、真空、氣氛測量環(huán)境；

★ 爐膛采用進(jìn)口金屬材料，耐高溫、，可實現(xiàn)多種環(huán)境下的電學(xué)測量；

★采用三段PID控溫，實現(xiàn)不同溫度區(qū)間的控溫，控溫精度達(dá)到±0.5℃；

★爐膛升溫故障診斷監(jiān)控設(shè)計，隨時監(jiān)測爐膛運行情況

★電測組合測量，探針和樣品的自身影響；

★系統(tǒng)自帶溫度校準(zhǔn)功能，讓測量溫度盡可能與樣品實際溫度保持一致。

★集成一體化設(shè)計，觸摸屏控制和顯示，具有的易用性

★可以實現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能

★可以分析電阻率pv與溫度T的變化曲線

四線法電阻測量原理