旦順聯(lián)網(wǎng) class100烘箱，無塵室觸摸屏百級無塵烘箱

旦順聯(lián)網(wǎng) class100烘箱，無塵室觸摸屏百級無塵烘箱 無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的晶片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。 一、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱人性化箱體結(jié)構(gòu) 1)上下雙腔結(jié)構(gòu),節(jié)省占地面積. 2)SUS304#鏡面不銹鋼內(nèi)膽,SUS304#拉絲不銹鋼板外殼,造型大方、新穎. 3)耐高溫風(fēng)機(jī)和合理風(fēng)道構(gòu)成熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),保證室內(nèi)溫度均勻性. 4)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)， 過濾效率99.99%，Class 100 二、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱自動化控溫系統(tǒng) 1）采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 10〃TFT真彩觸摸薄屏? 程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式可編99段，共1200段 歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出) 可對接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求 2）電氣線路設(shè)計新穎，合理布線，安全可靠 3）箱體側(cè)部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修。 三、聯(lián)網(wǎng)無塵烘箱安全完善的保護(hù)措施 1）超溫報警 2）欠相缺相保護(hù) 3）過電流保護(hù) 4）快速熔斷器 5）接地保護(hù)等系統(tǒng)。該功能充分保護(hù)實驗人員的安全。 公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司 業(yè)務(wù)經(jīng)理：周高超 手機(jī)號：15221841067 業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫; 手機(jī)號：15221744475 24小時服務(wù)熱線：400-823-8860 公司主頁：www.done-e.com 公司主頁：www.espec.com.cn