聯(lián)網(wǎng)無塵箱 百級無塵箱 光刻工藝專業(yè)無塵烘箱

聯(lián)網(wǎng)無塵箱 百級無塵箱 光刻工藝專業(yè)無塵烘箱 一、產(chǎn)品名稱及型號： 1.產(chǎn)品名稱：無塵烘箱 2.產(chǎn)品型號：CM-100 S350 3.無塵等級：Class 100； 4.含氧量：40min達100ppm以下；（預留氧含量測試孔） 5.溫度范圍： 常溫～ +350℃；（客戶工藝需要長期在300℃以上運行） 6.溫度均勻度：±2% （空載） 7.升溫速度：>5℃/min ，升溫斜率可控，升溫速度可以通過加熱系統(tǒng)控制調節(jié)。 8.降溫：風冷夾層降溫，200℃～ 120℃，3.5度/分鐘，120℃～ 65℃約1.5度/分鐘。 9.電磁鎖：啟動設備運行中，電磁門鎖鎖門，運行未結束，人工不能開門。 10.電源：AC380V 3φ 50Hz，8.5Kw 11.設備型號： 型號 工作室尺寸（mm） 外形尺寸（mm） 加熱功率 臺數(shù) CM-100 S350 W600×H600×D600 W950×H1510×D1340 8.5kw 1臺 二、箱體結構： 1.烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結構合理，外觀美觀大方。 2.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵。 3.箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵。 4.內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污 避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE。 5.中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密加工(防污染)。 6.保溫材料:超細玻璃棉; 7.電熱器:采用進口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器。 8.潔凈度:烤箱內部均采用無塵化配件及材料。 三、工作室的氣流設計： 1.采用特殊設計，滿足內腔Class 100潔凈標準； 2.排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)，以達到強烈循環(huán)效果而降溫，排風加冷阱。 3.進氣口：加附Ｎ２流量計控制進氣量。入氣口：10mm 4.壓縮氣體過濾器，可把氣體過濾到CLASS 100，凈化氣體流量：300L/分鐘。 四、可靠的測控系統(tǒng) 溫控裝置：智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控 10〃TFT真彩觸摸薄屏? 程式編輯：可預編120個程式，每個程式可編99段，共1200段 歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導出) 三點溫度記錄 五、完善的安全保護措施：漏電斷路器//控制線路保險絲裝置//超溫防止保護裝置//欠相保護//電熱器過電流保護裝置//馬達電流過載保護//機臺異常時蜂鳴器警示//門安全開關//三色指示燈 公司名稱：上海旦順實業(yè)有限公司