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Hakuto離子蝕刻機(jī)20IBE-J 用于光學(xué)器件精密加工 Hakuto離子蝕刻機(jī) 伯東離子蝕刻機(jī)

上海市伯東離子蝕刻機(jī)廠家

價(jià)格： 電議

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品牌： 超寶
加工定制： 是
機(jī)器類(lèi)型： 加香機(jī)
用途： 家用
原理： 超聲波

產(chǎn)品參數(shù)

品牌：超寶 加工定制：是 機(jī)器類(lèi)型：加香機(jī) 用途：家用 原理：超聲波

產(chǎn)品特點(diǎn)

某光學(xué)器件制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 應(yīng)用于光學(xué)器件精密加工, 通過(guò)蝕刻工藝提高光學(xué)器件的聚酰亞胺薄膜的表面光潔度. Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 技術(shù)參數(shù) Φ4 inch X 12片基片尺寸 Φ4 inch X 12片 Φ5 inch X 10片 Φ6 inch X 8片均勻性 ±5% 硅片刻蝕率 20 nm/min 樣品臺(tái) 直接冷卻,水冷離子源 Φ20cm 考夫曼離子源 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE-J 的核心構(gòu)件離子源采用的是伯東公司代理美國(guó) 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220 伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù): 離子源型號(hào) RFICP 220 Discharge RFICP 射頻離子束流 >800 mA 離子動(dòng)能 100-1200 V 柵極直徑 20 cm Φ 離子束聚焦, 平行, 散射流量 10-40 sccm 通氣 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型壓力 < 0.5m Torr 中和器 LFN 2000 采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 可以使 PV、RMS分別為1.347μm和340nm的粗糙表面, 通過(guò)蝕刻其粗糙度可降低至75nm和13nm; PV、RMS分別為61nm和8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm和1nm. 該刻蝕工藝能有效提高光學(xué)器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度. 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 : 上海伯東 : 羅先生臺(tái)灣伯東 : 王小姐 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！

產(chǎn)品實(shí)拍

伯東企業(yè)（上海）有限公司

高低溫試驗(yàn)箱離子源制冷劑真空閥門(mén)

公司簡(jiǎn)介

伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷(xiāo)售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門(mén)設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶(hù)提供*的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

上海伯東代理品牌包含：德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國(guó)HVA 真空閥門(mén)，美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為國(guó)際真空品牌授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷(xiāo)售和維修服務(wù)，使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師；擁有完全的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

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