Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL3100用于蝕刻覆銅板

某印制板線路板生產(chǎn)工廠采用伯東 Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL3100 將覆銅板上不需要的銅蝕刻掉, 將需要保留的銅保留下來. ? Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL3100 技術(shù)參數(shù): Model MEL3100 Wafer size 3"～6" Wafer per batch 1 wafer sette No. 25 wafers sette Q'ty 1pc. Throughput 10 (wafer/hr) *1 Pressure Ultimate 8×10-5 (Pa) *2 Pressure Process 2×10-2 (Pa) *2 Etching Rate >10 (nm/min)@SiO2 *3 Etching Uniformity ±5%@132mm (6") *3 Wafer surface temp. <100℃ *3 Stage rotating 1～20 (rpm) ±5% Stage tilting ±90°±0.5° *1: Estimated process time 5min *2: No wafer on stege / process chamber *3: Depending on process 該工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 的主要原因: 1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量 2. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率 3. 占用空間小 4. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上 5. 高冷卻效果 6. 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復(fù)性利用脈沖電動機(jī) 7. 快速響應(yīng)時間和本地服務(wù)能力, 減少停機(jī)時間的工具 工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 運(yùn)行結(jié)果： 1. 提高蝕刻過程的均勻性 2. 提高精密程度, 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)工藝能力 3. 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)率, 降低勞動強(qiáng)度, 保證生產(chǎn)的連續(xù)性 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 : 上海伯東 : 羅先生 臺灣伯東 : 王小姐 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!