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[分子泵真空機組 等離子體技術(shù) 電真空器件制造 高真空設(shè)備 高真空設(shè)備儀器 探針臺 氣體流量配比器]
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科探標準復合分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理,利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等 技術(shù)參數(shù): 控制方式 手動控制/自動控制切換 前級泵接口 KF25(客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級泵) 分子泵 FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分 分子泵抽氣速率 140L/S 分子泵啟動時間 ≤2min 空載極限壓強 ≤1X10-4Pa 真空測量方式 冷陰極標準規(guī)管 真空測量范圍 1E﹢2到1E-5 Pa 真空測量精度 1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復性: ±5% 抽氣接口 KF25 閥門類型 KF25手動擋板閥 系統(tǒng)電源 AC220V 系統(tǒng)功率 ≤1KW 環(huán)境溫度 5~32℃ 冷卻方式 強制風冷卻 濕度 ≤80%RH 外形尺寸 250 X360 X 300mm (寬-深-高) 重量 25KG 隨機配件:KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個
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聯(lián)系人:全女士
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