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[離子濺射儀 真空鍍膜機(jī)小型離子濺射儀 科研磁探濺射儀 氣敏溫度材料濺射儀器 小型真空濺射儀]
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水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動(dòng)濺射鍍膜機(jī),使用非常簡(jiǎn)單。由于獨(dú)特的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。 高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。. ?高性能濺射、碳涂層和等離子處理 ?獲得的碳線軸–50個(gè)碳涂層,無需用戶干預(yù) ?獨(dú)特的即插即用濺射和碳涂層模塊 ?真空性能和快速泵送時(shí)間 磁控離子濺射儀為掃描電鏡用戶在制樣過程中提供了更廣泛的選擇,以便適用支持掃描電子顯微鏡所需的涂層要求。磁控濺射的原理是,在電場(chǎng)內(nèi)在疊加一個(gè)磁場(chǎng),這樣電子在疊加場(chǎng)內(nèi)做螺旋運(yùn)動(dòng),行程很長(zhǎng),每個(gè)電子電離的氣體分子比直流多很多很多,所以可以在低電壓下,有較好的真空度。濺射產(chǎn)生同樣的鍍膜效果。但是因?yàn)榇趴卣婵斩认鄬?duì)高,所以鍍膜的顆粒小,膜層附著力好,靶材的利用率也高。 在直流濺射過程中,樣品的溫升主要來自于負(fù)離子在電場(chǎng)作用下對(duì)樣品的轟擊,在磁控濺射中,負(fù)離子都被磁場(chǎng)束縛了,所以基本沒有對(duì)樣品的轟擊,所以溫升基本沒有,很適合溫度敏感性的樣品制備。
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聯(lián)系人:全女士
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