[鎳鉻合金靶材 磁控濺射]
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鎳鉻合金靶材電阻薄膜具有高電阻率、低電阻溫度系數(shù)、較高的靈敏系數(shù)而且對溫度依賴小等特點,由于鎳鉻合金電阻薄膜制備容易、工藝成熟、性能穩(wěn)定,因而得到廣泛應用,主要用于制備混合集成電路中的精密電阻薄膜,其能滿足電阻應變計敏感薄膜的性能要求,因此常用于制備薄膜電阻應變計。 在鍍膜行業(yè)中,Ni-Cr系二元合金靶材和薄膜被廣泛應用于耐磨、減磨、耐熱和抗腐蝕等表面強化薄膜,以及低輻射玻璃、微電子、磁記錄、半導體和薄膜電阻等高端技術產業(yè)。