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下出料CVD氣相沉積/碳化爐

[碳化爐]

株洲市氣相沉積廠家

價格： 電議

物流： 湖南株洲市天元區(qū)| 賣家支付運費

可銷售總量： 10件

手機： 15273391550 郵箱： 3314867810@qq.com

傳真： 0731-27619398 地址： 湖南株洲市

在線詢盤聯(lián)系廠家：15273391550 0731-27618728

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詳細信息（下出料CVD氣相沉積/碳化爐）

加工定制： 是
品牌： 恒力
類型： 其他
型號： YHGYL-ZKJSL
別名： 碳化爐
適用范圍： 下出料CVD氣相沉積/碳化爐
爐膛最高溫度： 3000℃
工作溫度： 2850℃
裝載量： 5000
工作室尺寸： 定制
外形尺寸： 定制
規(guī)格： 定制
功率： 200KW

產(chǎn)品概述 / Overview

化學氣相沉積（CVD）是一種通過前驅(qū)氣體熱分解生成反應(yīng)產(chǎn)物，并沉積在基底形成薄膜或基體致密化的工藝。遠航工業(yè)爐研發(fā)的下出料 CVD/碳化爐，針對碳/碳（C/C）復合材料、碳化硅（SiC）涂層等領(lǐng)域設(shè)計，是實現(xiàn)高性能材料致密化的核心關(guān)鍵設(shè)備。

圖：遠航工業(yè)爐-下出料CVD氣相沉積/碳化爐實操現(xiàn)場

行業(yè)應(yīng)用 / Applications

? 民航飛機炭剎車盤制備
? 單晶硅生長爐用炭-炭熱場
? 多晶硅鑄錠爐用結(jié)構(gòu)件
? 炭-炭高溫結(jié)構(gòu)零部件
? 炭-炭-碳化硅復合材料
? 碳碳導流筒/保溫筒/堝托

技術(shù)規(guī)格表 / Technical Specs

加熱方式	等靜壓石墨電阻加熱（低壓大電流方式）
設(shè)計/常用溫度	溫度 2100℃ / 長期常用 2000℃
溫控精度	±0.1℃（日本島電精密儀表控制）
極限真空度	≤ 5Pa（冷態(tài)空爐狀態(tài)下）
恒壓控制	100-7500Pa 范圍全自動微正壓恒定控制
控制系統(tǒng)	PLC + 15寸臺達觸摸屏（帶歷史數(shù)據(jù)導出）
有效放料空間	根據(jù)客戶工藝需求提供非標尺寸定制