螺桿式無(wú)油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵,是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng),利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí),氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng),但無(wú)壓縮,只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度,以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí),要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。這種類(lèi)型的泵如果選用適當(dāng)?shù)妮^簡(jiǎn)單螺桿牙型截面,則制造簡(jiǎn)單,可保證很高的加工精度,且容易動(dòng)平衡,沒(méi)有金屬和金屬間的接觸。
MA干式螺桿真空泵,泵是臥式結(jié)構(gòu)。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形,為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短,且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利。
MA干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油,由于是直通氣路設(shè)計(jì),MHDP和,MHSP MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬與金屬間的接觸,磨損也就大大減少了。MA真空泵MHDP MHSP和MHHP干式螺桿泵都是夾套式水冷系統(tǒng). 干式螺桿真空泵 節(jié)能環(huán)保,無(wú)油螺桿,螺桿轉(zhuǎn)子一體加工設(shè)計(jì)緊湊, 沒(méi)有油或水和過(guò)程氣體接觸,運(yùn)行部件之間無(wú)金屬相互接觸,簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體,冷凝物甚至微小顆粒,節(jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要,泵內(nèi)氣通道較短,氣體排放更迅速,即使不使用消音裝置,噪音也低于90dB(A)
干式螺桿真空泵介紹
富通MA變螺距干式羅桿真空泵,設(shè)計(jì)緊湊,運(yùn)行。最顯著的特點(diǎn)是無(wú)需密封液,螺桿與軸一體加工,從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同,而是采用了的可變螺距設(shè)計(jì),可節(jié)省30%的能量,氣體排放溫度更低,從而無(wú)須冷卻凈化。MHSP泵可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbar a),而其極限真空可達(dá)0.01Torr。MHSP系列結(jié)構(gòu)緊湊,節(jié)能的螺桿式真空泵。該泵的特點(diǎn)是螺桿變螺距設(shè)計(jì),該泵比其他競(jìng)爭(zhēng)者的干泵節(jié)能達(dá)30%以上,排出的氣體溫度也更低。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油,直通氣路設(shè)計(jì),MA泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。
>
干式螺桿真空泵的典型應(yīng)用:
? 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
? 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
? 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求
? 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)造成污染,適合用干式真空泵
行業(yè)和市場(chǎng)
? 用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染
? 制藥 化工 石油化工 醫(yī)療 電子 鋼鐵等等
? 典型應(yīng)用
? 化學(xué)醫(yī)藥流程
? 回收
? 真空成型
? 實(shí)驗(yàn)真空
? 中央真空系統(tǒng)
? 成型
? 結(jié)晶
? 干刻
? 濺鍍
? 熔煉 煉鋼
? 空中模擬
? 蒸氣回收>等等
>MA干式螺桿真空泵的特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)
1.MHDP等距干式螺桿真空泵
MHDP泵是等螺距設(shè)計(jì),可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbara),極限真空可達(dá)0.01Torr(0.08mbara)在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中沒(méi)有油或水,泵腔無(wú)部分接觸,簡(jiǎn)單,堅(jiān)固的設(shè)計(jì)可以處理工作中的副產(chǎn)品一液體,冷凝物,甚至小顆粒,短氣通道可以使泵迅速排放,直接驅(qū)動(dòng)或V皮帶有加長(zhǎng)的轉(zhuǎn)子,操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全水無(wú)油,直通氣路設(shè)計(jì),MHDP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。主要特點(diǎn):
螺桿轉(zhuǎn)子一體加工
沒(méi)有油或水和過(guò)程氣體接觸
運(yùn)行部件之間無(wú)金屬相互接觸
簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體,冷凝物甚至微小顆粒
節(jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要
泵內(nèi)氣通道較短,氣體排放更迅速
即使不使用消音裝置,噪音也低于90dB(A)
型號(hào) CFM/m3/h HP/k W
MHDP-150 1 20/150 5/4
MHDP-330 270/330 9/7
MHDP-400 330/400 20/15
MHDP-800 660/780 26/18.5 MHCB-400 400 30/22 MHCB-800 800 40/30 MHCB-1500 1500 74/55 MHCB-3000 3000 10175 MHCB-4500 4500 121/90 MHCB-6000 6000 148/110 MHCB-9000 9000 215/160
2.MHSP變螺距干式螺桿真空泵
MHSP變螺距干式羅茨真空泵,設(shè)計(jì)緊湊,運(yùn)行。最顯著的特點(diǎn)是無(wú)需密封液,從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同,而是采用了的可變螺距設(shè)計(jì),提高了效率,降低了排出氣體溫度,從而無(wú)須冷卻凈化,可節(jié)省30%的能量,這是該泵的特點(diǎn)。MHSP泵可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbar a),而其極限真空可達(dá)0.01Torr(0.013mbar a)。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油,直通氣路設(shè)計(jì),FVP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體
MHSP主要特點(diǎn):
? 沒(méi)有油或水和過(guò)程氣體接觸
? 運(yùn)行部件之間無(wú)金屬相互接觸
? 簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體,冷凝物甚至微小顆粒
? 節(jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要
? 泵內(nèi)氣通道較短,氣體排放更迅速
? 即使不使用消音裝置,噪音也低于80dB(A)
變螺距型號(hào) CFM/m3/h HP/k W
MHSP -150 120/150 5 /3.7
MHSP -320 270/320 10 /7.5
MHSP -450 370/450 15 /11
MHSP - 800 660/800 20 /15
MHSP -1500 1300/1500 50 /37
MHSP -3000 2500/3000 75 /55 MHSP -4500 4200/4500 75/55
MHSP -6000 5600/6000 100/75
3.MHHP變螺距干式螺桿真空泵
MHHP變螺距干式羅茨真空泵,設(shè)計(jì)緊湊,運(yùn)行。最顯著的特點(diǎn)是無(wú)需密封液,從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同,而是采用了的可變螺距設(shè)計(jì),提高了效率,降低了排出氣體溫度,從而無(wú)須冷卻凈化,可節(jié)省30%的能量,這是該泵的特點(diǎn)。MHHP泵可以從大氣壓下開(kāi)始全速抽吸至壓力為0.005Torr,而其極限真空可達(dá)0.005Torr。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無(wú)水無(wú)油,直通氣路設(shè)計(jì),MHHP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體
異形螺距型號(hào) CFM/m3/h HP/k W
MHHP-300 300 15/11.5
MHHP-600 600 25/19
MHHP-1200 1200 40/30
MHHP-2400 2400 60/ 45
標(biāo)簽:
干式真空 無(wú)油真空 液環(huán)真空 腐蝕氣體 水環(huán)真空
干式真空泵 無(wú)油真空泵 液環(huán)真空泵 腐蝕氣體真空泵 水環(huán)真空泵
北京市干式螺桿真空泵
北京市干式螺桿真空泵廠家