供應(yīng)1200℃氣相沉積爐
北京市氣相沉積爐廠家
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HKCVD-1200由開啟式單（雙）溫區(qū)管式爐、高真空擴(kuò)散泵系統(tǒng)、壓強(qiáng)控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成?？蓪崿F(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗。
主要功能和特點：
1、高真空系統(tǒng)由前級雙級旋片真空泵和后級擴(kuò)散泵組成，真空可達(dá)0.001Pa；
2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用*Swagelok卡套連接，不漏氣；
5、超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進(jìn)氣，使用安全可靠。
主要用途和適用范圍：
高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD/CVI實驗，特別適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結(jié)等場所。
技術(shù)參數(shù)：
| HKCVD-1200 | 本產(chǎn)品通過歐盟CE認(rèn)證，保證了設(shè)備的運行安全. | |
| 控溫方式 | 采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序。 | |
| 加熱元件 | 0Cr27Al7Mo2 | |
| 工作電源 | AC220V 50HZ/60HZ | |
| 額定功率 | 4KW | |
| 爐管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100*1000mm | |
| 工作溫度 | ≤1150℃ | |
| 溫度 | 1200℃ | |
| 恒溫精度 | ±1℃ | |
| 加熱區(qū)長度 | 440mm或220mm/220mm | |
| 升溫速度 | ≤20℃/min | |
| 密封方式 | 不銹鋼快速法蘭擠壓密封 | |
| HKCVD-1200-K | 真空范圍 | 0.1-0.01Pa |
| 極限真空 | 4.0*10^-4Pa | |
| 產(chǎn)品配置 | 雙級旋片真空泵+擴(kuò)散泵 | |
| 測量方式 | 復(fù)合真空計 | |
| 真空規(guī)管 | 電阻規(guī)+電離規(guī) | |
| 冷卻方式 | 水冷 | |
| 工作電源 | AC380V 50/60HZ | |
| 抽 速 | 100L/S | |
| HKCVD-1200-I | 測量范圍 | 1*10^5～1*10^-1 Pa |
| 穩(wěn)壓(真空)范圍 | 1*10^3～1*10Pa | |
| 壓力(真空)穩(wěn)定精度 | ±3% | |
| 控制范圍 | 2.5*10^3～5*10^-1 Pa | |
| 控制精度 | ±1% | |
| HKCVD-1200-Ⅲ | 控制方式 | D07-7K質(zhì)量流量計,D08流量顯示儀 |
| 流量規(guī)格 | 0－500SCCM /0－1SLM（可根據(jù)客戶需要配置） | |
| 線 性 | ±1%F.S | |
| 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
| 響應(yīng)時間 | ≤2sec | |
| 耐 壓 | 3MPa | |
| 氣路通道 | 3通道（根據(jù)客戶需求） | |
| 針 閥 | 316不銹鋼 | |
| 管 道 | Φ6mm不銹鋼管 | |
| 接 口 | SwagelokΦ6mm | |
北京匯科華創(chuàng)科技有限公司
注冊資金：100萬-500萬
聯(lián)系人：張濤
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