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MKS 925系列微皮拉尼真空計(jì),是基于一個(gè)以微電子機(jī)械系統(tǒng)的熱量傳導(dǎo)型的真空傳感器,925真空計(jì)可以用于真空壓力測(cè)量和提供模擬電壓輸出,數(shù)字通訊和用于工藝控制的中繼點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
壓力測(cè)量范圍在10ˉ5Torr 到大氣壓,大于普通的皮拉尼真空計(jì)2個(gè)測(cè)量等級(jí)
3個(gè)用于工藝控制的中繼點(diǎn)(選擇性)
超精致的設(shè)計(jì)
為工藝控制提供高的測(cè)量精度
模擬的輸出和數(shù)字通訊(RS232或RS485)提供了簡(jiǎn)便的操作
可以抵御大氣沖擊和振動(dòng)
可以方便地安裝于任何方向,沒(méi)有任何測(cè)量精度的損失
可以替代任何供應(yīng)商的真空計(jì)和設(shè)施的升級(jí)
符合歐洲CE,EMC標(biāo)志
應(yīng) 用:
MKS925真空計(jì)可以使用于半導(dǎo)體工業(yè)的分析和鍍膜工藝上的測(cè)量。
一般的真空壓力測(cè)量
前極管路和低真空的測(cè)量
氣體的充填測(cè)量和控制
質(zhì)譜儀器的控制
超高真空計(jì)的啟動(dòng)
工藝系統(tǒng)的控制
控制系統(tǒng)的壓力
注冊(cè)資金:100萬(wàn)-500萬(wàn)
聯(lián)系人:羅先生
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