價格: 電議
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可銷售總量: 1000件
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產(chǎn)品詳情
一、靶材應(yīng)用:裝飾鍍膜行業(yè)
二、制造工藝:熱等靜壓
最長可達2000mm,靶材,寬度及厚度可定制
產(chǎn)品特點:
純度:99.5%、99.8%、99.9%、99.95%
相對密度:>99.8%
晶粒尺寸:平均粒徑<100微米
形狀:圓形、方形

靶材的主要性能要求
純度
純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,鎢靶材,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

公司靶材生產(chǎn),生產(chǎn)工藝成熟,硼靶材,陶瓷燒結(jié)技術(shù)團隊來自于臺灣,從事陶瓷燒結(jié)生產(chǎn)40多年,掌握的注漿燒結(jié)工藝技術(shù);等離子噴涂技術(shù)團隊來自于中國航天科技,從事等離子噴涂技術(shù)工作已三十余年,持有多項技術(shù)。經(jīng)過10多年的發(fā)展,公司已經(jīng)建成陶瓷燒結(jié)、等離子噴涂、真空熔煉、旋轉(zhuǎn)靶材幫定、水路背板等產(chǎn)品生產(chǎn)線。


注冊資金:3000000
聯(lián)系人:涂先生
固話:0755-29462652
移動手機:18666291510
企業(yè)地址:廣東 深圳市 寶安區(qū)