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鋁酸鑭晶體單晶-鋁酸鑭晶體-合肥合瑞達(dá)

合肥市鋁酸鑭晶體單晶廠家

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鋁酸鑭（LaAlO3）晶體具有大的禁帶寬度(5-6eV)，高的介電常數(shù)值(~25)和很好的熱穩(wěn)定性使其成為替代Si基1金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管中SiO2的佳替代材料。鋁酸鑭(LaAlO3)晶體屬于六方晶系【空間群D3-R3m(166)】，其晶胞參數(shù)為:a=5365A，C=13.11A熔點(diǎn):2080℃。它與YBCO等高溫超導(dǎo)材料的晶格匹配好，介電常數(shù)較低(c，=21)微波損耗小因而適于制作高溫超導(dǎo)微波電子器件(如遠(yuǎn)程通訊中的高溫超導(dǎo)微波濾波器等)。

鋁酸鑭（LaAlO3）晶體技術(shù)參數(shù)：晶向：<100>、<110>、<111>；晶體結(jié)構(gòu)：贗立方；晶格常數(shù)：a=3.792A；生長方法：提拉法；熔點(diǎn)：2080℃ ；密度：6.52g/cm3；莫氏硬度：6.5 Mohs；熱膨脹系數(shù)：10×10-6/℃；介電常數(shù)：25；損耗正切（10GHz)：～3×10-4@300K，～0.6×10-4@77K 。由于大尺寸 LaAlo3晶體生長后熱應(yīng)力和后期切割、研磨所產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力較大，鋁酸鑭晶體，加上晶棒的顏色較深。因此要上述因素，必須對晶體進(jìn)行退火處理。

鋁酸鑭（LaAlO3）晶體在560℃附近要發(fā)生結(jié)構(gòu)相變，從高溫時(shí)的立方結(jié)構(gòu)變?yōu)槌貢r(shí)的三方結(jié)構(gòu)。有較低的介電損耗，鋁酸鑭晶體單晶，與ZrO2、 SrTio3、藍(lán)寶石等襯底材料相比，鋁酸鑭晶體基片，綜合性能更為理想。是以一定化學(xué)配比的La2O3和A2O3為原料，在2100℃下用提拉法生長的，然后經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)工藝切割和拋光制成5×10m2的 LaAlo3晶片，晶向?yàn)閇01].無退火的鋁酸鑭（LaAlO3）晶體呈淡黃色透明，在氧氣氛下退火后呈棕色。

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