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航天技術(shù)的不斷發(fā)展,泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素,越來越多的收到各方關(guān)注,相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視,目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品,采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。

實(shí)驗(yàn)程序中明確規(guī)定了密封繼電器的檢漏條件及步驟,本次主要討論背壓法檢漏屬于檢漏步驟中的細(xì)檢漏。繼電器的背壓檢漏法一般分為三步:1加氦壓:將被檢繼電器放入充氦的壓力罐中;2凈化:從壓力罐中取出繼電器,用氮?dú)饬骰蛘呖諝饬鞔祪衾^電器表面吸附的氦氣。3檢漏:將繼電器放入檢漏儀的檢漏盒中進(jìn)行檢測,若繼電器有漏,壓入內(nèi)腔的氦氣會經(jīng)過漏孔進(jìn)入檢漏儀,儀器上會有漏率顯示。

檢漏主要領(lǐng)域:航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等;儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等;檢漏主要領(lǐng)域:電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng);電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路;對于容積較小的部件,呼吸管流量測試儀器,如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等,采用氦罩法被檢工件抽空,檢漏儀調(diào)到漏率(10-11Pa。m3/s),然后對氦罩沖氦。


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