單雙溫區(qū)PECVD鍍膜設(shè)備

加熱爐部分

1

爐膛模式

開啟式爐膛

2

顯示模式

7英寸觸摸屏

3

極限溫度

1200℃

4

工作溫度

≤1150℃

5

升溫速率

建議10℃/Min   Max：30℃/Min

6

加熱溫區(qū)

單溫區(qū)/雙溫區(qū)

7

單溫區(qū)長(zhǎng)度

200 mm

8

爐管規(guī)格

60*1150 mm

9

控溫精度

±1℃

10

密封方式

快速法蘭密封

11

溫度曲線

30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

12

預(yù)存曲線

可預(yù)存15條溫度曲線

13

超溫報(bào)警

有

14

過流保護(hù)

有

15

斷偶提示

有

16

測(cè)溫元件

K型熱電偶

17

爐膛材料

氧化鋁纖維

18

外形尺寸

800*560*1500MM

 射頻電源功率

1

信號(hào)頻率

13.56 MHz±0.005%

2

功率輸出范圍

5W-300W

3

功率穩(wěn)定度

±0.1%

4

諧波分量

≤-50dbc

5

供電電壓

單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

6

整機(jī)效率

>=70%

7

功率因素

>=90%

8

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

真空部分

1

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

2

功率

500W

3

抽氣速率

6L/s

4

進(jìn)氣口口徑

KF25

5

排氣口口徑

KF25

6

轉(zhuǎn)速

1450rpm

7

噪音

55dB

8

極限真空

4X10^-2Pa

 氣路系統(tǒng)（標(biāo)配2路普通質(zhì)量流量計(jì)，更精準(zhǔn)的可選配）

1

1,2氣路采用DB07K系列

準(zhǔn)確度：±1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

2

3路采用高精度CS200系列

準(zhǔn)確度：±0.35%FS  ±1.0%SP

線性：±0.5%FS

重復(fù)精度：±0.2%FS

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1Sec

 整機(jī)系統(tǒng)特色

1

正壓測(cè)量

-100Kpa---100Kpa

2

真空測(cè)量

10^-2Pa ～100Kpa（支持Ar測(cè)量）

3

正壓保護(hù)

支持

4

壓力恒定

支持

5

智能氣路

支持

6

氣路定時(shí)

支持

7

射頻工作時(shí)間設(shè)定

支持

8

移動(dòng)速度調(diào)節(jié)

支持

9

系統(tǒng)真空度

4.8×10^-1Pa