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[PE-CVD 晶化提純?cè)O(shè)備 管式爐 等離子化學(xué)氣象沉積鍍膜機(jī)]
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快速冷卻卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)CVD連續(xù)生長(zhǎng)爐,它由三溫區(qū)管式爐,三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng),真空機(jī)組,RF射頻電源模塊,異形石英管,風(fēng)冷裝置,收放銅箔的密封裝置組成,每一個(gè)部件都可以CVD管式爐的爐管兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放銅箔的密封裝置),收放銅箔的密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室與爐體之間安裝有射頻等離子體發(fā)生器,所述出料排氣腔體與爐體之間安裝有風(fēng)冷裝置。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn),可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)?;L(zhǎng)。
標(biāo)簽: PE-C 晶化提純 管式爐 等離子化 PE-CVD 晶化提純?cè)O(shè)備 管式爐 等離子化學(xué)氣象沉積鍍膜機(jī) 北京市連續(xù)鍍膜鍍膜設(shè)備 北京市連續(xù)鍍膜鍍膜設(shè)備廠家
注冊(cè)資金:100萬(wàn)-500萬(wàn)
聯(lián)系人:于磊
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