EVG300系列兆聲清洗系統(tǒng)： EVG300系列 單晶圓清洗系統(tǒng) EVG300系列 單晶清洗系統(tǒng)
[清洗
EVG
兆聲清洗
單晶圓清洗系統(tǒng)
EVG300系列
301
兆聲
清洗系統(tǒng)]
北京市系列單晶清洗系統(tǒng)廠家
價格： 電議
物流： 北京市 朝陽區(qū)| 買家支付運費
可銷售總量： 20件
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- 品牌： EVG
- 型號： EVG300系列
- 類型： 穩(wěn)壓IC
- 用途： 電腦
一、 簡介
EVG公司成立于1980年，公司總部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和臺灣設有分公司，并在其他各地設有銷售代理及售后服務部，產(chǎn)品和服務遍及各地。
EVG公司是一家致力于半導體制造設備的供應商，其豐富的產(chǎn)品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。
目前已有數(shù)千臺設備安裝在各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統(tǒng)/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導體器件和功率器件等領域。
EVG300系列配備1MHz，30-60W的兆聲波清洗頭，能有效地去除亞微米(>0.1um)顆粒?？膳cEVG鍵合機和對準機實現(xiàn)無縫銜接，以保證鍵合前硅片的潔凈度，是實現(xiàn)SOI、Si-Si直接鍵合等工藝的必要手段。同時，EVG300系列也是高精度單片清洗工序的必備設備。
二、應用范圍
EVG300系列是一款單晶片或掩膜板清洗系統(tǒng)，面向以研發(fā)和小批量生產(chǎn)為主的客戶，廣泛應用于光刻掩膜板清洗、硅片直接鍵合、SOI鍵合前處理和其它相關領域。
三、主要特點
u 單片清洗，基片正面與背面間無交叉污染
u 稀釋的化學液體清洗，有效地節(jié)省了成本
u 基片旋轉(zhuǎn)甩干，轉(zhuǎn)速可為3000轉(zhuǎn)/分刷片清洗
u 軟件可編程控制刷頭移動速度及基片旋轉(zhuǎn)速度
u 1MHz兆聲清洗或兆聲板式清洗（可選）
u 單面刷洗（可選）
u 其它選項
- 帶有IR檢測的預對準臺
- 應對非SEMI標準的硅片夾具
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