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專業(yè)型電子束光刻設(shè)備Raith150

[光刻

Ralth

納米級(jí)曝光

專業(yè)

電子束光刻]

北京市型電子束光刻廠家

價(jià)格： 電議

物流： 北京市朝陽(yáng)區(qū)| 賣(mài)家支付運(yùn)費(fèi)

可銷售總量： 21件

手機(jī)： 18263262536 郵箱： hzb@astchina.com

傳真： 010-84799162 地址： 北京市北京市

在線詢盤(pán) 聯(lián)系廠家：18263262536

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[光刻 Ralth 納米級(jí)曝光專業(yè) 電子束光刻]

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詳細(xì)信息（專業(yè)型電子束光刻設(shè)備Raith150）

品牌： RAITH
型號(hào)： Pioneer Two
加工定制： 是
用途： 在化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域加工線寬8-350納米圖形或掩膜板加工。

(三). 專業(yè)型電子束光刻設(shè)備Raith150 Two:

Raith150 Two是一款高分辨電子束光刻設(shè)備，采用30kV Gemini電子束技術(shù)，應(yīng)用于8英寸以下基板（可曝光面積6英寸）的納米級(jí)光刻、高分辨成像及低壓電子束光刻，可實(shí)現(xiàn)亞5nm的曝光結(jié)構(gòu)。

HSQ膠上制作亞4.5nm線條及PMMA膠上制作精細(xì)的11nm線條

(四). 專業(yè)型電子束光刻設(shè)備Voyager:

Voyager是一款高性價(jià)比采用創(chuàng)新的eWrite體系結(jié)構(gòu)的電子束光刻設(shè)備，采用50kV eWrite 電子束技術(shù)，應(yīng)用于8英寸以下基板（可曝光面積6英寸）的高速直寫(xiě)，適合衍射光學(xué)元件、防偽元件的加工及化合物半導(dǎo)體器件的高速加工。

HSQ膠上制作亞7nm線條

(五). 專業(yè)型電子束光刻設(shè)備EBPG5150/5200:

EBPG5150/5200是一款高自動(dòng)化的電子束光刻設(shè)備，采用100kV EBPG 電子束技術(shù)，應(yīng)用于8英寸以下基板（5150可曝光面積6英寸、5200可曝光面積8英寸）的高深寬比納米結(jié)構(gòu)曝光、高速電子束直寫(xiě)，適合防偽標(biāo)識(shí)的加工及化合物半導(dǎo)體器件的高速加工。