高溫半導體材料四探針測量系統(tǒng)

高溫半導體材料四探針測量系統(tǒng)主要用于評估半導體薄膜和薄片的導電性能，該系統(tǒng)采用直排四探針測量原理和單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準設計研發(fā)，可以實現(xiàn)高溫、真空及惰性氣氛條件下測量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率和硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。該系統(tǒng)廣泛應用于高?？蒲性核推髽I(yè)單位半導體薄膜和薄片材料電學性能研究。

技術規(guī)格：

◆ 溫度范圍：RT-600℃

◆ 控溫精度：±1℃

◆ 電阻：10^-5~10⁵?

◆ 電阻率：10^-5~10⁵?·cm

◆ 方塊電阻：10^-4~10⁶Ω/□

◆ 電導率：10^-5~10⁵?/cm

◆ 針間絕緣電阻：≥1000MΩ

◆ 輸入電壓：110~220V

◆ 數(shù)據(jù)傳輸：4個USB接口

◆ 樣品尺寸：薄膜Φ15~30mm，d＜4mm

功能特點:

■ 可以實現(xiàn)常溫、高溫、真空、氣氛條件下測量半導體薄膜材料的電學性能；

■ 可以測量半導體薄膜和薄片材料的方塊電阻、電阻率；

■ 可以實現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能；

■ 可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計算樣品的電阻率ρv；

■ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化曲線；

■ 集成一體化設計，觸摸屏控制和顯示，具有的易用性；

■ 可以自動調(diào)節(jié)施加在樣品的測試電壓，以防樣品擊穿；

■ 進口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛，高耐溫1100℃，配有超溫報警電路；

■ 耐高溫四探針夾具，碳化鎢探針，99氧化鋁陶瓷絕緣；

■ 可以通過USB傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式為Excel格式。