價(jià)格: 電議
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[探針臺(tái) 晶圓測(cè)試 實(shí)驗(yàn)室設(shè)備]
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SX系列半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)
型號(hào) SX-6 SX-8 SX-12
外形(W*D*H) 1000mm*1400mm*1400mm 1100mm*1500mm*1400mm 1200mm*1600mm*1400mm
重量 約1000KG 約1150KG 約1350KG
電力需求 AC220V,50~60Hz CDA需求 0.4~0.8Mpa Chuck 尺寸 6″ 8″ 12″
X-Y軸行程 200mm*300mm 250mm*400mm 350mm*500mm X-Y軸移動(dòng)解析度 0.1μm X-Y軸重定位精度 ≤±1μm X-Y移動(dòng)速度 ≥70mm/sec Z軸行程 20mm Z軸移動(dòng)解析度 0.1μm Z軸重定位精度 ≤±1μm Z軸移動(dòng)速度 ≥20mm/sec Theta角度行程 ±10° Theta角度解析度 0.0001° 樣品固定方式 多孔真空吸附,獨(dú)立分開(kāi)控制 更換樣品方式 Chuck快速拉出 結(jié)構(gòu) 三軸超低噪聲設(shè)計(jì),鍍金,電學(xué)獨(dú)立懸空(chuck可作為背電極)
特點(diǎn): 超高的測(cè)試精度,效率和穩(wěn)定性 便捷的儀器接入 多倍率同時(shí)顯示光學(xué)系統(tǒng) 可升級(jí)大功率晶圓測(cè)試 (-60~200℃)超低噪聲高低溫Chuck 可升級(jí)射頻測(cè)試 功能豐富的測(cè)試軟件 可升級(jí)全自動(dòng)測(cè)試
高低溫真空探針臺(tái) 高低溫探針臺(tái) 激光修復(fù)儀 探針臺(tái) 探針臺(tái) 高低溫探針臺(tái) 高低溫真空探針臺(tái) 激光修復(fù)儀
注冊(cè)資金:100萬(wàn)以下
聯(lián)系人:吳先明
固話:0755-26906952
移動(dòng)手機(jī):15338745912
企業(yè)地址:廣東 深圳市 寶安區(qū)