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Hakuto 日本原裝設(shè)計(jì)制造離子刻蝕機(jī) IBE , 提供微米級(jí)刻蝕 , 滿足所有材料的刻蝕 , 即使對(duì)磁性材料 , 金銅鎳銀鉑等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料 , 這些難刻蝕的材料也能進(jìn)行微米級(jí)刻蝕 . 伯東離子刻蝕機(jī) IBE 組成主要包含真空刻蝕腔體 , 樣品臺(tái) , 離子源等 . 其配置如下 : 一. 真空腔體 伯東離子刻蝕機(jī) IBE 的真空刻蝕腔體配置的是德國(guó) Pfeiffer 分子泵 . Pfeiffer 分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S , 轉(zhuǎn)速高 90,000 rpm , 極限真空 1E-11 mbar , 能滿足各種各樣真空度要求 . 伯東是 Pfeiffer Vacuum 德國(guó)普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商 , 銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品已超過(guò) 20 年 . 二. 離子源 伯東離子刻蝕機(jī) IBE 配置的美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 考夫曼 離子源 . 伯東公司是美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源亞洲總代理 . 三. 樣品臺(tái) 伯東離子刻蝕機(jī) IBE 的樣品臺(tái)可選直接冷卻 / 間接冷卻 / 水冷 , 而且可以 0-90 度旋轉(zhuǎn) . 其中基片尺寸大小支持 Φ3 inch , Φ4 inch , Φ5 inch , Φ6 inch , Φ8 inch 等各種尺寸 . 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 : 上海伯東 : 羅先生 臺(tái)灣伯東 : 王小姐 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 伯東版權(quán)所有 , 翻拷必究 !
高低溫試驗(yàn)箱 離子源 制冷劑 真空閥門
注冊(cè)資金:500萬(wàn)-1000萬(wàn)
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