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桌面式磁控濺射儀桌面式真空濺射儀

[濺射儀]

鄭州市桌面式真空濺射儀廠家

價(jià)格： 電議

物流： 河南鄭州市中原區(qū)| 賣家支付運(yùn)費(fèi)

可銷售總量： 99件

手機(jī)： 15136405012 郵箱： 1741240035@QQ.com

傳真： 尚未完善 地址： 河南鄭州市

在線詢盤聯(lián)系廠家：15136405012

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詳細(xì)信息（桌面式磁控濺射儀桌面式真空濺射儀）

品牌： 其他
型號(hào)： KT--Z1650PVD
加工定制： 是
類型： 線材測(cè)試儀

產(chǎn)品參數(shù)

品牌：其他 型號(hào)：KT--Z1650PVD 加工定制：是 類型：線材測(cè)試儀

產(chǎn)品特點(diǎn)

桌面式濺射儀KT-Z1650PVD水冷式濺射源，可實(shí)現(xiàn)高功率持續(xù)運(yùn)行，有電壓電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。電子在電場(chǎng)的作用下加速飛向基片的過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片。氬離子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過(guò)程中受到磁場(chǎng)洛倫茲力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高，二次電子在磁場(chǎng)的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng)，該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長(zhǎng)。桌面式濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；控制方式 7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制濺射電源直流濺射電源鍍膜功能 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序功率 ≤1000W 輸出電壓電流電壓≤1000V 電流≤1A 真空機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa 濺射真空 ≤30Pa 擋板類型電控真空腔室石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm 樣品臺(tái) 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 8轉(zhuǎn)/分鐘樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 40-105mm 真空測(cè)量皮拉尼真空計(jì)（已安裝測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa）預(yù)留真空接口 KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

產(chǎn)品實(shí)拍

標(biāo)簽：濺射儀濺射儀鄭州市桌面式真空濺射儀鄭州市桌面式真空濺射儀廠家