全自動紫外光刻機

全自動紫外光刻機
技術特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，全自動）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）
采用三爪找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和曝光間隙，采用350W進口（德國）直流汞燈，可調節(jié)光的能量密度。設備外形美觀精制，性能非?？煽?，自動化程度很高，操作十分方便。

URE-2000/35型紫外光刻機
1,采用技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現均勻照明；
2,采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調平精度均高；
3,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；
4,自動分離對準間隙和曝光間隙，間隙分離可達500μm；
5,高倍率雙目雙視場顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光結果和方便存儲；
6,電機機構、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復性好；
7,曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm，溫度小于30度）；
8,對準完成，自動曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察；
9,快門可以單獨開啟，也可以數字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999s）；
10,采用350W進口（德國）直流汞燈，可調節(jié)光的能量密度；
11,汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式，即曝光時采用高亮度照明，而不曝光時采用低亮度的“待機”，從而延長了汞燈壽命。
12,設備外形美觀精制，性能非常可靠；
13,上下片、版十分方便，自動化程度很高，操作簡便。對高校教學科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)成為適宜。
二．技術參數
1,曝光面積：100mm×100mm；（可升級6英寸）
2,分辨力：≤1mm（膠厚2mm的正膠）；
3,對準精度：±0.8mm；
4,掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm；
5,掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸；
6,樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應非標準片或碎片)、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
7,照明均勻性：±3-4%（Ф100mm范圍）；
8,掩模相對于樣片運動行程：X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度；
9,汞燈功率：350W（直流）；
10,曝光波長：365nm；
11,曝光能量密度：≥ 15mW/cm；
12,曝光方式：定時（到計時方式0.1s—9999s）

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