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供應(yīng)無(wú)掩模光刻機(jī)

供應(yīng)無(wú)掩模光刻機(jī)

上海市無(wú)掩模光刻機(jī)廠家

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無(wú)掩模光刻機(jī)
無(wú)掩膜光刻機(jī) 型號(hào) DS-2000/1.0型
1.技術(shù)特征 采用DMD作為數(shù)字掩模,像素1024×768
采用1倍縮小投影光刻物鏡成像,一次曝光面積約14mm×10mm
采用技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)均明。
采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現(xiàn)工件定位和曝光拼接,
可適應(yīng)100mm×100mm基片。
2.技術(shù)參數(shù)
光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線);
照明均勻性:±2%; 物鏡倍率:1倍
曝光場(chǎng)面積:14mm×10mm 光刻分辨力:14μm
工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍:X:100mm、 Y:100mm;
工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度:±1.5μm;
調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度:1μm;
調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程:6mm 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程:±6°以上
基片尺寸外徑: Ф15mm—Ф100mm,
厚度:0.1mm--5mm
3.外形尺寸:840mm(長(zhǎng))×450mm(寬) ×830mm(高)
標(biāo)簽:     上海市無(wú)掩模光刻機(jī)   上海市無(wú)掩模光刻機(jī)廠家
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注冊(cè)資金:5000萬(wàn)以上

聯(lián)系人:陳先生

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移動(dòng)手機(jī):13761297466

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¥9999
無(wú)掩膜光刻機(jī)圖片

無(wú)掩膜光刻機(jī)

¥58
供應(yīng)紫外光刻機(jī)圖片

供應(yīng)紫外光刻機(jī)

¥9999
全自動(dòng)紫外光刻機(jī)圖片

全自動(dòng)紫外光刻機(jī)

¥99999
供應(yīng)臺(tái)式勻膠機(jī)圖片

供應(yīng)臺(tái)式勻膠機(jī)

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