鵬城半導(dǎo)體 高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備 HITSemi-PVD-600EB

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是在高真空條件下，采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法，在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導(dǎo)電薄膜、光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等；可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜；可鍍各種高熔點材料。

關(guān)于我們

鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿、市場前沿和產(chǎn)業(yè)前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司是鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司全資子公司，是半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體工藝和裝備的設(shè)計中心和生產(chǎn)制造基地。

公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與gao*duan精密制造，具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體材料、工藝、裝備的研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、工藝技術(shù)服務(wù)及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣，可為生產(chǎn)企業(yè)提供生產(chǎn)型設(shè)備，可為科學(xué)研究提供科研設(shè)備。

公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整，有工程師哈工大和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊，還有來自工業(yè)界的gao*ji*裝備設(shè)計師團隊，他們具有30多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備xian*jin*的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。

公司團隊技術(shù)儲備及創(chuàng)新能力

1998~2002

-設(shè)計了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD，用于外延硅基GaN

-設(shè)計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機

2005

-設(shè)計制造了中國di*yi臺完全自主的MBE(分子束外延設(shè)備)，用于外延光電半導(dǎo)體材料

2007

-設(shè)計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長

-設(shè)計制造了光學(xué)級金剛石生長設(shè)備（采用熱激發(fā)技術(shù)和CVD技術(shù)）

2015

-設(shè)計制造了金剛石涂層制備設(shè)備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜

2017

-優(yōu)化Rheed設(shè)計，開始生產(chǎn)型MBE設(shè)計

-開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備

2019

-設(shè)計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產(chǎn)設(shè)備

2021

-鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司成立

2022

-子公司鵬城微納成立；

-熱絲CVD設(shè)備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯(lián)用設(shè)備多套出貨

-獲得ISO9001質(zhì)量管理體系

2023

-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術(shù)攻關(guān)；

-科技型中小企業(yè)-入庫編號202344030500018573；

-創(chuàng)新型中小企業(yè)；

-獲50+項*；

-企業(yè)信用評價AAA級信用企業(yè)；/ISO三體系認(rèn)證；

-子公司晶源半導(dǎo)體成立

2024~2026

-與jun*gong和shang*shi*tou*bu*qi*ye*客戶合作取得突破（X *guang*gan*shou板及光電器件的薄膜生長）

-鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司子公司擴產(chǎn)

-TGV/TSV/TMV

-wei*guang*tan*測、yi*liao*ying*xiang、fu*he*ying*zhi*tu*層

-gao*xin*ji*shu企業(yè)

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