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真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵,真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否,將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。
1、盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角,要光滑過(guò)渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過(guò)渡,110 增壓器,使氣路暢通無(wú)阻,但要考慮清洗清掃的方便性。
3、認(rèn)真設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu),使氣路暢通,避免氣路堵塞。
4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面,表面越光亮就越不易氣體吸附,越容易獲得真空。
5、盡可能減小真空室的體積,125渦輪增壓器,縮短管路系統(tǒng)。




注冊(cè)資金:50萬(wàn)
聯(lián)系人:汪傳斌
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