探針冷熱臺(tái)

探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。 該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60＊60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中x方向調(diào)節(jié)范圍：0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需要檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。 技術(shù)參數(shù)； 真空腔體 類型 高溫型室溫到400℃ 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃ 腔體材質(zhì) 6061鋁合金 （304不銹鋼可選） 腔體內(nèi)尺寸 127mmX57mmX20mm 腔體外尺寸 150mmX80mmX32mm 腔體重量 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG 腔體上視窗尺寸 Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） 腔體抽氣口 KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） 腔體真空測(cè)量口 KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） 腔體進(jìn)氣口 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 腔體冷卻方式 腔體水冷+上蓋氣冷 腔體水冷接口 6mm快擰 或 6mm快插 腔體正壓 ≤0.05MPa 腔體真空度 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） 樣品臺(tái) 樣品臺(tái)材質(zhì) 不銹鋼 樣品臺(tái)尺寸 26x26mm 樣品臺(tái)加熱方式 電阻加熱 電阻加熱 液氮制冷 樣品臺(tái)-視窗 距離 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 PT100型熱電阻 樣品臺(tái)溫度 室溫到400℃ 室溫到400℃ 室溫到-190℃ 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 ±0.5℃ 樣品臺(tái)升溫速率 高溫100℃/min 值 低溫7℃/min 溫控儀 溫度顯示 7寸人機(jī)界面 溫控類型 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 溫度分辨率 0.1℃ 溫控精度 ±0.5℃ 溫度信號(hào)輸入類型 PT100 （可選K S B型熱電偶） 溫控輸出 直流線性電源加熱 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 輔助功能 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 溫控器尺寸 32cmX170cmX380cm 溫控器重量 約5.6KG 可擴(kuò)展電學(xué)測(cè)試 探針 電信號(hào)接頭 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 電學(xué)性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA 探針數(shù)量 4探針（可擴(kuò)展5探針） 探針材質(zhì) 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） 探針尖 10μm 手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) X軸移動(dòng)行程 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） X軸控制精度 ≥500μm R軸移動(dòng)行程 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） R軸控制精度 ≥500μm Z軸移動(dòng)行程 2mm ±1mm Z軸控制精度 ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）