小型金屬蒸鍍儀

小型蒸鍍儀 一：產(chǎn)品參數(shù) 1． 產(chǎn)品名稱：小型蒸鍍儀 2． 產(chǎn)品型號：KT-Z1650CVD 3． 產(chǎn)品品牌：鄭科探 Zhengketan 4． 生產(chǎn)廠家：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司 二：功能要求 KT-Z1650CVD 是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖 小功能齊全。配備 7 寸觸摸屏人工界面，具有電流時間工藝儲存功 能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及自動電動 樣品擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金 屬（金，銀，銅，鉻，鎳等）和有機物進行均勻蒸發(fā)沉積。真空腔 室為透明玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄 膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。 三：主要技術(shù)要求 1． 控制方式：7 寸人機界面 手動 自動模式切換控制 2． 加熱方式：數(shù)字式功率調(diào)整器 3． 鍍膜功能：0-999 秒 5 段可變換功率及擋板位和樣品速度程 序 4． 功率：≤1200W 5． 輸出電壓電流：電壓≤12V 電流≤120A 6． 真空度：機械泵 ≤5Pa（5 分鐘） 分子泵≤10^-3Pa 7． 擋板類型：電控 8． 真空腔室：玻璃罩+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm 9． 樣品臺：可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50 基底） 10． 樣品臺轉(zhuǎn)速：8 轉(zhuǎn)/分鐘 11． 樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離：70-140mm 12． 蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)：≤1800℃ 13． 支持蒸發(fā)坩堝類型： 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 陶瓷坩堝 石英石坩堝 14． 預(yù)留真空接口：KF25 抽氣口 KF16 真空計接口 KF16 放 氣口 6mm 卡套進氣口 四：主要配置要求 1．1 臺 ? 小型蒸鍍儀 KT-Z1650CVD 主機 2．1 個 ? 真空擋板閥 KF25 接口 3. 1 個 ? 放氣閥 KF16 接口 4. 1 個 ? 52T 真空計 KF16 5. 1 臺 ? （選配）分子泵真空機組，機械泵