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[蒸鍍儀]
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小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD 是一款小型多功能鍍膜儀,額定1800度高溫,自動樣品擋板,靶臺旋轉,觸摸屏多段控制,工藝儲存等功能。 正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過程:(1)加熱蒸發(fā)過程:包括由凝聚相轉變?yōu)闅庀嗟倪^程,每種蒸發(fā)物質在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。(2)氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運輸,即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。 (3)蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發(fā),凝聚,成核,核生長,形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠 低于基板溫度遠低于蒸發(fā)源溫度,因此,氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉變過程。 編輯 以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖 原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機械泵 115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子泵抽20分鐘 真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色 技術參數(shù) 控制方式 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 加熱方式 數(shù)字式功率調(diào)整器 鍍膜功能 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 功率 ≤1200W 輸出電壓電流 電壓≤12V 電流≤120A 真空度 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa 擋板類型 電控 真空腔室 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm 樣品臺 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底) 樣品臺轉速 8轉/分鐘 樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 70-140mm 蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) ≤1800℃ 支持蒸發(fā)坩堝類型 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 預留真空接口 KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 可選配擴展 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)