微電容申通道叉指電極高低溫探針臺

掌上真空探針臺，一體式不銹鋼腔體，手動調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置 KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結構小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構，使得探針部分能從整個探針臺系統(tǒng)中獨立出來，可以應用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結構可實現(xiàn)多路測試。配合接地良好的鋁制盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數(shù)據(jù)更加準確。 掌上真空探針臺KT-Z4019MRL4T 真空腔體 類型 高溫型室溫到350℃ 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ 腔體材質(zhì) 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 腔體內(nèi)尺寸 127mmX57mmX20mm 腔體外尺寸 150mmX80mmX32mm 腔體重量 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG 腔體上視窗尺寸 Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） 腔體抽氣口 KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） 腔體真空測量口 KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） 腔體進氣口 6mm快擰 或 6mm快插 腔體冷卻方式 腔體水冷+上蓋氣冷 腔體水冷接口 腔體正壓 ≤0.05MPa 腔體真空度 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） 樣品臺 樣品臺材質(zhì) 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 銀銅合金 純銀塊 樣品臺尺寸 26x26mm 樣品臺加熱方式 電阻加熱 電阻加熱 液氮制冷 樣品臺-視窗 距離 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） 樣品臺測溫傳感器 PT100型熱電阻 樣品臺溫度 室溫到400℃ 室溫到400℃ 室溫到-196℃ 樣品臺測溫誤差 ±0.5℃ 樣品臺升溫速率 高溫100℃/min 低溫7℃/min 溫控儀 溫度顯示 7寸人機界面 溫控類型 標準PID溫控 +自整定 溫度分辨率 0.1℃ 溫控精度 ±0.5℃ 溫度信號輸入類型 PT100 （可選K S B型熱電偶） 溫控輸出 直流線性電源加熱 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 輔助功能 溫度數(shù)據(jù)采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口 溫控器尺寸 32cmX170cmX380cm 溫控器重量 約5.6KG 探針 電信號接頭 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 電學性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA 探針數(shù)量 4探針（可擴展5探針） 探針材質(zhì) 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） 探針尖 10μm 手動探針移動平臺 X軸移動行程 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） X軸控制精度 ≥500μm R軸移動行程 120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿） R軸控制精度 ≥500μm Z軸移動行程 2mm ±1mm Z軸控制精度 ≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）