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[高低溫探針臺]
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中型真空高低溫探針臺KT-Z160T-RL 高低溫探針臺系統(tǒng)達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶,可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標(biāo)真空度,從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶,可選用分子泵組對系統(tǒng)進行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測試要求。 為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設(shè)計了隔振器,很大程度地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動,以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定,減少探針的漂移。 中型真空高低溫探針臺KT-Z160T-RL參數(shù) 真空腔體 腔體材質(zhì) 304不銹鋼 上蓋開啟 鉸鏈側(cè)開 加熱臺材質(zhì) 304不銹鋼 內(nèi)腔體尺寸 φ160x90mm 觀察窗尺寸 Φ70mm 加熱臺尺寸 φ60mm 觀察窗熱臺間距 75mm 加熱臺溫度 ﹣196~350℃ 加熱臺溫控誤差 ±1℃ 真空度 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa 允許正壓 ≤0.1MPa 真空抽氣口 KF25真空法蘭 氣體進氣口 3mm-6mm卡套接頭 電信號接頭 SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 電學(xué)性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V 探針數(shù)量 4探針 探針材質(zhì) 鎢針 探針尖 10μm 探針移動平臺 X軸移動行程 30mm ±15mm X軸控制精度 ≤0.01mm Y軸移動行程 13mm ±12.5mm Y軸控制精度 ≤0.01mm Z軸移動行程 13mm ±12.5mm Z軸控制精度 ≤0.01mm 電子顯微鏡 顯微鏡類別 物鏡 物鏡倍數(shù) 0.7-4.5倍 工作間距 90mm 相機 sony 高清 像素 1920※1080像素 圖像接口 VGA LED可調(diào)光源 有 顯示屏 8寸 放大倍數(shù) 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm