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SEMISHARE TFT-LCD激光修復(fù)儀
根據(jù)客戶TFT-LCD尺寸定激光修復(fù)儀尺寸,激光修復(fù)系統(tǒng)的品牌可以選擇New We ,Hoya或者SEMISHARE LP-IR/GRN 雙波段激光。
SEMISHARE大尺寸樣品檢測(cè)臺(tái)
這一系列的修復(fù)儀均是根據(jù)客戶TFT-LCD,OLED ,PCB 樣品實(shí)際尺寸大小來定制,定制能力為1200mmx800mm。通常有兩種不同的機(jī)械設(shè)計(jì),種是chuck在顯微鏡下面大范圍移動(dòng),讓樣品上每一個(gè)點(diǎn)都能夠通過顯微鏡觀察到,同時(shí)顯微鏡可以在水平面有1"x1"的移動(dòng)行程。另一種是顯微鏡能夠在覆蓋整個(gè)樣品的范圍內(nèi)移動(dòng),chuck固定不動(dòng)。這兩種機(jī)械設(shè)計(jì)都可以選擇顯微鏡快速氣動(dòng)升降裝置,以方便的裝載樣片。我們的設(shè)計(jì)有下面幾個(gè)特點(diǎn):
真空Chuck根據(jù)客戶樣品定制
Chuck上的真空環(huán)和真空孔根據(jù)客戶的樣品決定尺寸和位置。
Chuck旋轉(zhuǎn)
通過旋轉(zhuǎn)樣品,使樣品與顯微鏡移動(dòng)方向平行。
Chuck傾斜
通過調(diào)節(jié)樣品水平傾斜角度可以更好的觀察樣品的缺陷。
移動(dòng)刻度尺,并可數(shù)字顯示坐標(biāo)
客戶可以方便控制樣品位移,移動(dòng)精度1微米。
2D測(cè)試軟件
樣品尺寸可以通過測(cè)試軟件測(cè)試采集入電腦的幾何圖像尺寸從而方便地計(jì)算出實(shí)際樣品尺寸,測(cè)試前需要用標(biāo)準(zhǔn)件來校準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)。
背光
150W 白光可以連續(xù)調(diào)節(jié)。
掩膜板檢測(cè)
掩膜板夾具加載在chuck上面,chuck可以選擇是否需要背光源。
防震桌
可以極大地減少地面?zhèn)鲗?dǎo)上來的震動(dòng)。
TFT-LCD激光修復(fù)
可以選擇Hoya,New We或者SEMISHARE自制型激光加載在顯微鏡上,根據(jù)切割材質(zhì)(金屬,ITO,氧化物等)不同可以選擇可見光,紅外和紫外波段。
SEMISHARE LP連線系統(tǒng)
可以選擇SEMISHARE LP連線系統(tǒng)用于 mask 或者TFT-LCD,材質(zhì)(Au,Ag etc.),最小線寬10微米。
注冊(cè)資金:100萬以下
聯(lián)系人:吳先明
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