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鵬城半導體熱絲CVD金剛石設備 PC-005

[熱絲CVD金剛石設備廠家

熱絲CVD金剛石供應商

深圳熱絲CVD設備

熱絲CVD金剛石生產(chǎn)商

熱絲CVD金剛石報價]

深圳市半導體廠家

價格： 電議

物流： 廣東深圳市南山區(qū)| 賣家支付運費

可銷售總量： 999件

手機： 13632750017 郵箱： sales@hitsemi.com

傳真： 尚未完善 地址： 廣東深圳市

在線詢盤聯(lián)系廠家：13632750017

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詳細信息（鵬城半導體熱絲CVD金剛石設備 PC-005）

品牌： 其他
型號： PC-005
加工定制： 是
動力形式： 其他
種類： 其他

研發(fā)設計制造了熱絲CVD金剛石設備，分為實驗型設備和生產(chǎn)型設備兩類。
設備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)。可用于力學級別、熱學級別、光學級別、聲學級別的金剛石產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。
可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片，用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
可用于生產(chǎn)制造防腐耐磨硬質(zhì)涂層；環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的金剛石產(chǎn)品。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。
可用于太陽能薄膜電池的研發(fā)與生產(chǎn)。

工件尺寸
圓形平面工件的尺寸：φ600mm。
矩形工件尺寸的寬度≤600mm。

矩形工件尺寸長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定（如：工件長度1200mm）。
配置水冷樣品臺。
可單面鍍膜也可雙面鍍膜。

金剛石薄膜生產(chǎn)線

熱絲電源功率
可達300KW，1KW～300KW可調(diào)（可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍）
設備安全性
- 電力系統(tǒng)的檢測與保護
- 設置真空檢測與報警保護功能
- 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測和流量檢測與報警保護
- 設置水壓檢測與報警保護裝置
- 設置水流檢測報警裝置

熱絲CVD金剛石設備

設備構(gòu)成
真空室構(gòu)成
雙層水冷結(jié)構(gòu)，立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形，前后開門。

真空尺寸：根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。
熱絲
熱絲材料：鉭絲、或鎢絲
熱絲溫度：1800℃～2500℃ 可調(diào)
熱絲不塌腰（解決了熱絲長時間加熱塌腰問題）。
樣品臺
可水冷、可加偏壓、可旋轉(zhuǎn)、可升降，由調(diào)速電機控制，可實現(xiàn)自動升降，（熱絲與襯底間距在5～100mm范圍內(nèi)可調(diào)），要求升降平穩(wěn),上下波動不大于0.1mm。
工作氣路（CVD）
工作氣路根據(jù)用戶工藝要求配置：
下面氣體配置是某一用戶的配置案例。
H2（5000sccm，濃度）
CH4（200sccm，濃度）
B2H6（50sccm，H2濃度99%）
Ar（1000sccm，濃度）
真空獲得及測量系統(tǒng)
控制系統(tǒng)及軟件

關(guān)于我們

鵬城半導體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學（深圳）與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿、市場前沿和產(chǎn)業(yè)前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司是鵬城半導體技術(shù)（深圳）有限公司全資子公司，是半導體和泛半導體工藝和裝備的設計中心和生產(chǎn)制造基地。

公司核心業(yè)務是微納技術(shù)與gao*duan精密制造，具體應用領(lǐng)域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發(fā)設計、生產(chǎn)制造、工藝技術(shù)服務及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣，可為生產(chǎn)企業(yè)提供生產(chǎn)型設備，可為科學研究提供科研設備。

公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整，有工程師哈工大和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊，還有來自工業(yè)界的裝備設計師團隊，他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術(shù)研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學（深圳），具備的半導體研發(fā)設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體和泛半導體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。

公司團隊技術(shù)儲備及創(chuàng)新能力

1998~2002

-設計了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD，用于外延硅基GaN

-設計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機

2005

-設計制造了中國di*yi臺完全自主的MBE(分子束外延設備)，用于外延光電半導體材料

2007

-設計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長

-設計制造了光學級金剛石生長設備（采用熱激發(fā)技術(shù)和CVD技術(shù)）

2015