磁控濺射鍍膜機 NSC-3500（A）全自動磁控濺射系統(tǒng) 那諾-馬斯特
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蒸發(fā)鍍膜
磁控濺射設備
磁控濺射鍍膜設備
磁控濺射儀
磁控濺射系統(tǒng)]
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- 品牌： 其他
- 型號： NSC-3500（A）
- 加工定制： 是
- 類型： 其他
- 產品用途： 醫(yī)療衛(wèi)生化工生物產業(yè)電子制藥
NSC-3500（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達到6"旋轉平臺，支持到3個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-3500（A）帶有14”立方形不銹鋼腔體，3個2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，350 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-3500（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)產品特點：
- 不銹鋼腔體
- 260l/s或350l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵
- 13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
- 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
- 基于LabView軟件的PC計算機控制
- 帶密碼保護功能的多級訪問控制
- 完全的安全聯(lián)鎖功能
-
預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片
選配項：
- RF、DC濺射
- 熱蒸鍍能力
- RF或DC偏壓（1000V）
- 樣品臺可加熱到700°C
- 膜厚監(jiān)測儀
-
基片的RF射頻等離子清洗
應用：
- 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆
- 光學以及ITO涂覆
- 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆
- 帶RF射頻等離子放電的反應濺射
那諾-馬斯特中國有限公司
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