離子源清洗 NIE-3500（A）全自動離子束清洗系統(tǒng) 那諾-馬斯特
[硅片清洗設備
離子束清洗
Ion Beam
離子束清洗系統(tǒng)
晶圓清洗設備
晶圓清洗機]
上海市離子源清洗廠家
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[硅片清洗設備 離子束清洗 Ion Beam 離子束清洗系統(tǒng) 晶圓清洗設備 晶圓清洗機]
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- 品牌： 其他
- 型號： NIE-3500（A）
- 加工定制： 是
- 類型： 其他
- 產(chǎn)品用途： 醫(yī)療衛(wèi)生化工生物產(chǎn)業(yè)電子制藥
NIE-3500（A）全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述：該系統(tǒng)為全自動上下載片，并且通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng)，系統(tǒng)具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優(yōu)勢。該系統(tǒng)所配套的所有核心組件均為。
NIE-3500（A）全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點：
- 低成本
- 帶預真空鎖，自動上下載片
- 離子束：高達2KV/10mA
- 離子電流密度100-360uA/cm2
- 離子束直徑：4",5",6"
- 兼容反應及非反應氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
- 極限真空5x10-7Torr
- 260l/s渦輪分子泵，串接500 l/min干泵
- 14"不銹鋼或鋁質腔體
- 水冷旋轉/傾斜樣品臺(NIE-3500)
- 自動上下載片（NIE-3500）
- 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
- 占地面積30"x30"
產(chǎn)品應用：
- 表面處理
- 離子銑
- 表面清洗
- 帶活性氣體的離子束刻蝕： 光柵刻蝕，以及SiO2，Si和金屬的深槽刻蝕
電議
那諾-馬斯特中國有限公司
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聯(lián)系人：張經(jīng)理
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