離子源清洗 NIE-3500（M）離子束清洗系統(tǒng) 那諾-馬斯特
[硅片清洗設(shè)備
離子源清洗
Ion Beam
離子束清洗系統(tǒng)
晶圓清洗設(shè)備
晶圓清洗機(jī)]
上海市離子束清洗廠(chǎng)家
價(jià)格： 電議
物流： 暫無(wú)物流地址| 賣(mài)家支付運(yùn)費(fèi)
可銷(xiāo)售總量： 0件
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[硅片清洗設(shè)備 離子源清洗 Ion Beam 離子束清洗系統(tǒng) 晶圓清洗設(shè)備 晶圓清洗機(jī)]
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手機(jī)：
- 品牌： 其他
- 型號(hào)： NIE-3500（M）
- 加工定制： 是
- 類(lèi)型： 其他
- 產(chǎn)品用途： 醫(yī)療衛(wèi)生化工生物產(chǎn)業(yè)電子制藥
NIE-3500（M）離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述：該系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)勢(shì)。所有核心組件均為。
NIE-3500（M）離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 低成本
- 離子束：高達(dá)2KV/10mA
- 離子電流密度100-360uA/cm2
- 離子束直徑：4",5",6"
- 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
- 極限真空5x10-7Torr
- 260l/s渦輪分子泵，串接500 l/min干泵
- 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
- 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)
- 自動(dòng)上下載片（NIE-3500）
- 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
-
占地面積30"x30"
產(chǎn)品應(yīng)用：
- 表面清洗
- 表面處理
- 離子銑
- 帶活性氣體的離子束刻蝕
- 光柵刻蝕
- SiO2，Si和金屬的深槽刻蝕
那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
注冊(cè)資金：尚未完善
聯(lián)系人：張經(jīng)理
固話(huà)：021-62318025
移動(dòng)手機(jī)：17317363700
企業(yè)地址：上海市 上海市 徐匯區(qū)
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