小型真空鎢舟熱蒸鍍儀
[蒸鍍儀]
鄭州市小型真空鎢舟熱蒸鍍儀廠家
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- 品牌： 其他
- 型號： KT--Z1650CVD
- 加工定制： 是
- 類型： 線材測試儀
小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD 是一款小型多功能鍍膜儀，額定1800度高溫，自動樣品擋板，靶臺旋轉(zhuǎn)，觸摸屏多段控制，工藝儲存等功能。 正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過程：（1）加熱蒸發(fā)過程：包括由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^程，每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運輸，即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。 （3）蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發(fā)，凝聚，成核，核生長，形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠 低于基板溫度遠低于蒸發(fā)源溫度，因此，氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉(zhuǎn)變過程。 技術(shù)參數(shù) 控制方式 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 加熱方式 數(shù)字式功率調(diào)整器 鍍膜功能 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 功率 ≤1200W 輸出電壓電流 電壓≤12V 電流≤120A 真空度 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa 擋板類型 電控 真空腔室 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm 樣品臺 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） 樣品臺轉(zhuǎn)速 8轉(zhuǎn)/分鐘 樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 70-140mm 蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) ≤1800℃ 支持蒸發(fā)坩堝類型 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 預(yù)留真空接口 KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 可選配擴展 機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）
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